电动物镜转盘
清洁度是半导体、FPD 和 OLED 制造行业的检查人员很关心的问题,这一点关系到是否可以生产出功能正常的产品。因此,应将检测设备用于受控环境,如洁净室。不允许灰尘从物镜转盘落到样品上,如半导体晶圆。即使是微小的灰尘也会污染晶圆,破坏其功能,进而影响产品产量。
我们带真空功能的电动物镜转盘 (U-D5BDREMC-VA) 使用负压吸力,可减少物镜转盘旋转时落下的细粒数量,并捕获润滑系统所用润滑脂产生的任何气体或灰尘。这种真空功能使我们的物镜转盘成为受控洁净室环境的理想选择。物镜转盘可用作半导体和FPD检测设备的内置显微镜模块。
用于污染控制的带真空功能的物镜转盘
我们提供各种物镜转盘,这些物镜转盘可集成到检测、生产和研究领域的系统中。我们的选择包含手动和电动选项。
手动物镜转盘:该产品系列可以支持诸如明场、暗场和微分干涉对比 (DIC) 等观测方法,可以容纳四至七个物镜,满足 ESD 规范等。
带编码功能的物镜转盘:这种类型的手动物镜转盘可以检测转盘的物镜安装孔位置。您可以使用软件将物镜的放大倍率信息与其在转盘上的位置相匹配,使您能够更快地将放大倍率信息添加到捕获的图像中,同时降低手动数据输入错误的风险。
电动物镜转盘:这种类型的物镜转盘可以通过电动方式移动五个或六个物镜。带有真空功能的电动物镜转盘同样已经推出。
带对中功能的物镜转盘:这种类型的物镜转盘可让您通过手动或电动方式将物镜的光轴对中。这样可以改变物镜转盘的孔位置,以便针对每个物镜的细微移动进行调整。最终将所有安装的物镜对准。经过调整,您会发现更换物镜前后,中心位置是相同的。
物镜支架转接器:这款转接器 (STM7-MMOBAD) 可让您只使用一个物镜。如果您的应用不需要多个物镜,那这是一种经济实惠的选择。请注意,这款转接器(适配器)仅配备 RMS 螺丝 W26,并且没有用于暗场照明的光路。
您只需将一个物镜连接到支持多个物镜的系统,物镜适配器 (STM7-MMOBAD) 实现了灵活性。左侧:使用物镜适配器连接了一个物镜。中间:连接转盘前。右侧:使用物镜转盘连接了多个物镜。
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