一直以来,高品质的显微镜组件都是用户所值得信赖的“工作伙伴“,高效实用也一直都是Evident在显微镜组件开发上的追求。作为BX显微镜系列的一部分,全新BXC显微镜组件正式与大家见面,其结构紧凑,专为OEM集成和开发而设计。
同时,全新BXC系列显微镜组件,将以其多功能性和模块化构建,成为检测或成像应用的理想选择,无论是晶圆对准、凸块测量还是图像拼接,都可自如应对。
系统设计和自动化高级选项,
效率再提升
多功能定向暗场
暗场用于观察来自样品的散射或衍射光(例如:镜面或半导体晶圆上的划痕或缺陷),而MIX滑块无需专用的暗场光学组件,并通过16个可单独控制的LED增强了传统暗场,使您能够控制照射在样品上的光线方向。此外,这种通过使用MIX滑块实现的定向暗场技术,可以与明场、简单偏光或荧光观测相结合。
自动对焦装置
在BXC-FSU中,1级激光器使用主动多点传感来监测焦点位置的方向和焦点状态。这种传感器针对低对比度的样品(如裸晶圆)效果很好。使用独特的算法可输出稳定的对焦信号,而不受物镜放大倍率和周边光线所造成噪音的影响。命令参考手册、指导手册和示例软件,之后可在我们的网站上自行下载。
多种多样的物镜转盘
随着自动化需求的增加,对电动物镜转盘的需求也随之增加。随着自动化需求的增加,对电动物镜转盘的需求也随之增加。现在,U-D5BDREMC-VA 1级无尘室兼容电动物镜转换器,将使用抽真空方式来清除灰尘和其他颗粒。
系统集成化,
快速、简单
BXC-CBRML和BXC-CBB控制盒占地面积小,无风扇,有多种安装方式(例如可安装到设备罩壳内的侧壁或顶部)
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