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- 非接触式超小设计，监测高功率射频电源的电流及电压传输
- 方便替换传统的光谱仪，准确探测刻蚀工艺的终点
- 监测腔体是否刻蚀干净及过度刻蚀，缩短刻蚀时间和降低气体成本，提高生产机台使用率
- 高速采样频率，可达2万赫兹
应用：
- 用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体工艺等离子体放弧探测及刻蚀终点探测（Endpoint）。
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企业名称
英福康(广州)真空仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
914401016186116122
成立日期
1990-06-18
注册资本
壹仟贰佰肆拾捌万柒仟肆佰肆拾贰元(人
经营范围
批发业(具体经营项目请登录广州市商事主体信息公示平台查询,网址:http://cri.gz.gov.cn/.涉及国家规定实施准人特别管理措施的外商投资企业,经营范围以审批机关核定的为准;依法需经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动.)
英福康（广州）真空仪器有限公司
公司地址
上海市长宁区遵义南路88号协泰中心大厦1806室
客服电话
公司名称： 英福康（广州）真空仪器有限公司
公司地址： 上海市长宁区遵义南路88号协泰中心大厦1806室 联系人： 赵凡非 邮编： 200336 联系电话： 400-803-0155
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