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滨松光子学商贸（中国）有限公司

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当前位置： 滨松中国 > 其它测量/计量仪器 > C11295 多点纳米膜厚测量仪

C11295 多点纳米膜厚测量仪

品牌： 滨松
产地： 日本
型号： C11295
报价： 面议
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产品介绍

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C11295 多点纳米膜厚测量仪


    C11295型多点纳米膜厚测量系统使用光谱相干测量学，用以测量半导体制造过程中的薄膜厚度，以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制。C11295可进行实时多点测量，也可以在膜厚测量中同时测量反射率（透射率）、目标颜色以及暂时变化。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站  查看该产品更多详细信息！    


特性

  • 多达15点同时测量

  • 无参照物工作

  • 通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量

  • 提醒及警报功能(通过或失败)

  • 反射(透射)和光谱测量

  • 高速、高准确度

  • 实时测量

  • 不整平薄膜精确测量

  • 分析光学常数（n,k）

  • 可外部控制

参数

型号C11295-XX*1
可测膜厚范围（玻璃）20 nm to 100 μm*2
测量可重复性（玻璃）0.02 nm*3 *4
测量准确度（玻璃）±0.4 %*4 *5
光源氙灯
测量波长320 nm to 1000 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*4
工作距离10 mm*4
可测层数最多10层
分析FFT 分析，拟合分析
测量时间19 ms/点*7
光纤接口形状SMA
测量点数2~15
外部控制功能Ethernet
接口USB 2.0（主单元与电脑接口）
RS-232C（光源与电脑接口）
电源AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗约330W（2通道）~450W（15通道）

*1：-XX，表示测点数

*2：以 SiO2折射率1.5来转换

*3：测量400 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏差

*4：取决于所使用的光学系统或物镜的放大率

*5：可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中

*6：卤素灯型为C11295-XXH

*7：连续数据采集时间不包括分析时间



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滨松其它计量仪器C11295的工作原理介绍

其它计量仪器C11295的使用方法?

滨松C11295多少钱一台?

其它计量仪器C11295可以检测什么？

其它计量仪器C11295使用的注意事项？

滨松C11295的说明书有吗？

滨松其它计量仪器C11295的操作规程有吗？

滨松其它计量仪器C11295报价含票含运吗？

滨松C11295有现货吗？

工商信息

企业名称

滨松光子学商贸（中国）有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110000450180837

成立日期

2011-08-01

注册资本

0

经营范围

批发、零售II类医疗器械、计算机、软硬件及辅助设备;光电子相关产品、半导体相关产品、光技术应用装置、X线技术应用装置、生物制品(未经专项审批的项目除外)以及上述产品相关部件、软件、配件的批发、佣金代理(拍卖除外)、货物进出口(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);售后服务;技术咨询;软件开发;技术开发、技术转让、技术服务;租赁仪器仪表;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)

联系方式

滨松光子学商贸（中国）有限公司

公司地址

北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室

客服电话

400-803-3696
滨松光子学商贸（中国）有限公司为您提供滨松C11295 多点纳米膜厚测量仪，滨松C11295产地为日本，属于其它测量/计量仪器，除了C11295 多点纳米膜厚测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其它测量/计量仪器,滨松中国客服电话400-803-3696，售前、售后均可联系。
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公司名称： 滨松光子学商贸（中国）有限公司

公司地址： 北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室 联系人： 施小姐 邮编： 100020 联系电话： 400-803-3696

主营产品：

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