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C11295型多点纳米膜厚测量系统使用光谱相干测量学,用以测量半导体制造过程中的薄膜厚度,以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制。C11295可进行实时多点测量,也可以在膜厚测量中同时测量反射率(透射率)、目标颜色以及暂时变化。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站 查看该产品更多详细信息!
特性
多达15点同时测量
无参照物工作
通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量
提醒及警报功能(通过或失败)
反射(透射)和光谱测量
高速、高准确度
实时测量
不整平薄膜精确测量
分析光学常数(n,k)
可外部控制
参数
*1:-XX,表示测点数
*2:以 SiO2折射率1.5来转换
*3:测量400 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏差
*4:取决于所使用的光学系统或物镜的放大率
*5:可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中
*6:卤素灯型为C11295-XXH
*7:连续数据采集时间不包括分析时间
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其它计量仪器C11295的使用方法?
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企业名称
滨松光子学商贸(中国)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110000450180837
成立日期
2011-08-01
注册资本
0
经营范围
批发、零售II类医疗器械、计算机、软硬件及辅助设备;光电子相关产品、半导体相关产品、光技术应用装置、X线技术应用装置、生物制品(未经专项审批的项目除外)以及上述产品相关部件、软件、配件的批发、佣金代理(拍卖除外)、货物进出口(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);售后服务;技术咨询;软件开发;技术开发、技术转让、技术服务;租赁仪器仪表;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
公司地址
北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室
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公司名称: 滨松光子学商贸(中国)有限公司
公司地址: 北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室 联系人: 施小姐 邮编: 100020 联系电话: 400-803-3696
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