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滨松光子学商贸（中国）有限公司

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当前位置： 滨松中国 > 其它测量/计量仪器 > C11665-01 微米膜厚测量仪

C11665-01 微米膜厚测量仪

品牌： 滨松
产地： 日本
型号： C11665-01
报价： 面议
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产品介绍

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C11665-01 微米膜厚测量仪


    C11665-01型光学微米测厚仪是一款非接触薄膜测厚仪器，它将光源、探测器和数据分析模块集成到一个箱体里，实现了紧凑型设计。在半导体行业，TSV技术的广泛应用使得基底测厚成为至关重要的方面，与此同时半导体薄膜工业正将连接层制作的越来越薄。这些领域的进步需要1 μm到300 μm范围内高准确度的膜厚测量。C11665-01可对多种类型的材料（硅基底，薄膜等等）进行测厚，测量范围为0.5 μm 到 700 μm，这也是半导体和薄膜制造领域经常使用应用的厚度。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站  查看该产品更多详细信息！


特性

  • 无参照物工作

  • 尺寸紧凑，节省空间

  • 高速、高准确度

  • 不整平薄膜精确测量

  • 分析光学常数（n,k）

  • 可外部控制

参数

型号C11665-01
可测膜厚范围（玻璃）0.5 μm to 700 μm*1
可测膜厚范围（硅）0.5 μm to 300 μm*2
测量可重复性（硅）0.1 nm*3 *4
测量准确度（硅）±1 %*4 *5
光源LED
测量波长940 nm to 1000 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*4
工作距离5 mm*4
可测层数最大10层
分析FFT 分析，拟合分析，光学常数分析
测量时间19 ms/点*6
光纤接口形状FC
外部控制功能RS-232C / Ethernet
电源AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗85W

*1：SiO2薄膜测量特性

*2：Si薄膜测量特性

*3：测量6 μm厚硅薄膜时的标准偏差

*4：取决于所使用的光学系统或物镜的放大率

*5：在标准量具的测量保证范围内

*6：连续数据采集时间不包括分析时间



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滨松其它计量仪器C11665-01的工作原理介绍

其它计量仪器C11665-01的使用方法?

滨松C11665-01多少钱一台?

其它计量仪器C11665-01可以检测什么？

其它计量仪器C11665-01使用的注意事项？

滨松C11665-01的说明书有吗？

滨松其它计量仪器C11665-01的操作规程有吗？

滨松其它计量仪器C11665-01报价含票含运吗？

滨松C11665-01有现货吗？

工商信息

企业名称

滨松光子学商贸（中国）有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110000450180837

成立日期

2011-08-01

注册资本

0

经营范围

批发、零售II类医疗器械、计算机、软硬件及辅助设备;光电子相关产品、半导体相关产品、光技术应用装置、X线技术应用装置、生物制品(未经专项审批的项目除外)以及上述产品相关部件、软件、配件的批发、佣金代理(拍卖除外)、货物进出口(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);售后服务;技术咨询;软件开发;技术开发、技术转让、技术服务;租赁仪器仪表;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)

联系方式

滨松光子学商贸（中国）有限公司

公司地址

北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室

客服电话

400-803-3696
滨松光子学商贸（中国）有限公司为您提供滨松C11665-01 微米膜厚测量仪，滨松C11665-01产地为日本，属于其它测量/计量仪器，除了C11665-01 微米膜厚测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其它测量/计量仪器,滨松中国客服电话400-803-3696，售前、售后均可联系。
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公司名称： 滨松光子学商贸（中国）有限公司

公司地址： 北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室 联系人： 施小姐 邮编： 100020 联系电话： 400-803-3696

主营产品：

光谱配套设备 其它光学测量仪 光源/氙灯光源/汞灯光源 光学仪器组件 CCD相机/影像CCD 其它质谱配套设备

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