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C10178-01 纳米膜厚测量仪系列
C10178-01型光学膜厚测量仪是一款利用光谱相干度量学工作的非接触型膜厚测量系统。通过光谱相干，可快速、高灵敏度、高准确度地测量膜厚。由于使用我公司的光子多通道分析仪（PMA）为探测器，在测量多种滤光片、镀膜等的膜厚的同时，还可以测量量子收益、反射率、透射率以及吸收系数等多种项目。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站 查看该产品更多详细信息！
特性
高速、高准确度
实时测量
映射功能
不整平薄膜精确测量
分析光学常数（n,k）
可外部控制
与特定附件配合，可测量量子收益、反射率、透射率以及吸收系数等。
参数
| 型号 | C10178-01 |
| 测量模型 | 标准型（通用测量） |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 20 nm to 50 μm*1 |
| 测量可重复性（玻璃） | 0.01 nm*2 *3 |
| 测量准确度（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | 卤素灯 |
| 测量波长 | 400 nm to 1100 nm |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测层数 | 最多10层 |
| 分析 | FFT 分析，拟合分析，光学常数分析 |
| 测量时间 | 19 ms/点*5 |
| 光纤接口形状 | φ12套筒型 |
| 外部控制功能 | RS-232C, 通过PIPE或Ethernet进行内部软件数据传输 |
| 接口 | USB2.0 |
| 电源 | AC100 V to 120 V/ AC200 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 250W |
*1：以 SiO2折射率1.5来转换
*2：测量400 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏差
*3：取决于所使用的光学系统或物镜的放大率
*4：可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中
*5：连续数据采集时间不包括分析时间
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企业名称
滨松光子学商贸（中国）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110000450180837
成立日期
2011-08-01
注册资本
0
经营范围
批发、零售II类医疗器械、计算机、软硬件及辅助设备;光电子相关产品、半导体相关产品、光技术应用装置、X线技术应用装置、生物制品(未经专项审批的项目除外)以及上述产品相关部件、软件、配件的批发、佣金代理(拍卖除外)、货物进出口(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);售后服务;技术咨询;软件开发;技术开发、技术转让、技术服务;租赁仪器仪表;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
滨松光子学商贸（中国）有限公司
公司地址
北京市朝阳区东三环北路27号嘉铭中心B座1201室
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