臭氧传输系统

Mini-ODS臭氧系统是一套先进的臭氧传输系统，产生臭氧以满足ALD，THEOS，MOCVD，Photoresist Stripping，表面处理和其他半导体领域的应用。它是一套非常紧凑的臭氧传输系统包含了高纯度臭氧发生器，高浓度臭氧检测仪，基于微机处理技术的SCI-TURBO-L控制器和所有必要的阀门、管件等。它的设计典型应用于对臭氧浓度要求高的领域，21%或更高。Mini-ODS系统结构紧凑、重量轻，包含了非平行性能的手持式优点，所有这些都使它优于市场上的同类臭氧系统。此系统使用方便，并可以根据客户需求提供定制化服务。Mini-ODS系统具有良好的扩展性，支持追加独立的臭氧发生器以满足不同臭氧浓度和流量的要求；在WET BENCH应用中，支持追加在线溶解臭氧分析仪；支持追加多通道臭氧泄露检测仪和臭氧尾气处理器。

特点：

结构紧凑

产生臭氧浓度超过21%W/W

19英寸尺寸壁挂型和桌面型

低成本/无耗

系统包含：
高纯度臭氧发生器
高浓度臭氧分析仪
闭环式伺服控制器
氧气MFC
氮气MFC
背压式压力调节阀
电磁阀

选项：
臭氧破坏器
溶解臭氧分析仪
臭氧泄露检测仪
可扩展的臭氧发生器

技术规格：

臭氧浓度： 超过330g/Nm3或21.5%w/w

臭氧流量： 最优于1SLPM（其他流量亦可）

臭氧出口压力： 15-40PSIG（典型压力为30PSIG）

环境温度： 5-35摄氏度

进气：
氧气要求： 6个9纯度或高于
氮气纯度： 5个9纯度或高于

冷却水温度： 17-20摄氏度

冷却水流量： 根据结构设计来

控制器： 全自动闭环伺服回路

用户设置：
发生器功率
气体流量
臭氧浓度
（同时独立控制两台臭氧发生器）
分析仪： 紫外线法高度臭氧分析仪-GFFOZ
紫外线法高浓度溶解臭氧分析仪-Dffoz（可选项）

气体流量控制器: O2和N2的MFC

调压阀： 背压式调压阀

显示： 20位 LCD显示

模拟输出： 4-20MA或0-10VDC

数字I/O： RS232-C

诊断： 内部诊断

设备错误延迟

电力： 208-240VAC 1或3相

尺寸： 19" x 13.7" x 18"(W x H x D) 48cm x 35cm x 46cm