Semilab MCV-530 汞探针（汞CV）测试仪

北京飞凯曼科技有限公司提供匈牙利Semilab公司MCV-530型汞探针（汞CV）测试仪。同时我们还提供SEMILAB公司的SE-2000型、SE-1000光谱型椭偏仪（原法国Sopra公司GES5-E），WT-2000型、WT-1200A、WT-1000型少子寿命测试仪、DLS-83D深能级瞬态谱仪、扩展电阻测试仪、非接触式霍尔效应测试仪、原子力显微镜、扫描探针显微镜、纳米压痕测试仪。

MCV530（L）全自动汞探针系统是带扫描测试功能的高频电容-电压测试分析系统，它兼容3寸， 4寸， 5寸， 6寸， 8寸和12寸硅片。与传统的汞探针系统采用硅片正面朝下、真空吸附测试方式不同，MCV530（L）汞探针系统采用独特的汞探针设计，测试时硅片样品正面朝上，避免了传统设备玷污和破坏样品、无法进行多点扫描测试的缺点。同时MCV530（L）采用高精度的调压设备来精确控制汞柱和硅材料接触面积。该方法是测试硅外延层的电学参数及Low-K材料的介电常数等的有效方法。

MCV530（L）有两种测量模式：肖特基和MOS。肖特基测量模式是测量硅外延层载流子浓度的有效方法，其重复性小于1.5%（3σ）。该模式也是测量复合半导体材料（如：SiC, GaN, InP, GaP）载流子浓度的有效手段。MOS模式采用汞柱来形成MOS电容结构，节省了制作MOS样品的复杂流程，所以能够快速监控介电常数、离子注入参数、氧化层电荷、载流子产生寿命和氧化层的可靠性。MOS模式可测最薄氧化层厚度为35埃。

产品特点

样品正面向上，非损伤测试

系统内汞含量极少，汞保护措施完善

汞接触面积稳定，重复性优秀

工业化设计，符合SEMI各项标准

应用面广，适合半导体、液晶等不同行业

行业标准设备，市占率90%以上

主要应用

硅及化合物半导体外延电阻率监控

CVD工艺监控

扩散工艺监控

主要技术指标

偏压范围：        ±250V

击穿电压范围：    ±1100V

电流范围：        10fA to 100mA

汞接触面积重复性：  < 0.15%