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高纯绷烷中氢的低温气相色谱分析

2017-11-23 21:54

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资料摘要：

高纯硼烷在半导体工艺中是重要的掺杂剂， 它的纯度很大程度决定了半导体器件的质量。高 纯硼烷的杂质分析一直是电子气的“老大难”。根 据半导体工艺的要求，硼烷中的有害杂质主要是 指氧、水、一氧化碳、二氧化碳和甲烷等，考虑 到提纯方法和制造过程中系统泄漏而造成大气环 境中 氧 和 水 对 硼 烷 的 污 染（氧 占 ,!S，水 占 !O.S T ,S）。

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