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硅烷及其杂质的气相色谱分析

2011-01-11 21:16

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资料摘要:

制备多晶硅时,用液氨法在低温下产生的硅烷,除主成份Sil 外,尚台H 、微 NH。、 sizH B、cH 、Hzo、oz、N:、PH。,以及痕量的B H 和A sH。等杂质,而其中有些杂质, 如CH.、H zO、Nz等,主要由液氨带入。因此,要加强原材料的分析,严格监控 艺过程 中硅烷气内的有害杂质,采取必要的纯化措施。这样,将大大提高由分解炉中析出的多晶硅 质量。采用气相色谱法分析硅烷及其杂质,由于它具有快速 灵敏、准确、进样量少等优点, 正逐步被人们采用。 本文主要介绍我们工作中用来分析SIH 及其CH

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