核心参数
仪器种类: 傅立叶变换型
仪器类型: 在线型
波数范围: 3
分辨率: 3
扫描速度: 3
信噪比: 3
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Thermo Scientific Nicolet 硅分析系统性能极佳,拥有成本低,可靠性高。
Nicolet 分析系统可以快速测量间隙碳和间隙氧以及外延薄膜厚度,适用于半导体晶片生产和太阳硅应用。 经光伏硅转换太阳能的需求持续显著增长,Nicolet 硅分析系统可提供快速、可靠的多功能分析。
Nicolet 硅分析系统的处理选项包括:1)自动分析 300 mm(最大)的晶片;2)低成本手动测量单个点。 本系统可提供行业趋势变化所需的灵活性,可用于方形晶片和金属片的分析。
具有硅分析选项,可以满足各种预算需求。 所有解决方案均包括软件工具,其中包括:
· 碳、氧和外延薄膜(300nm 至 7500nm)分析
· 定量算法广泛,扩展了功能,其中包括:线性回归法、经典最小二乘法 (CLS) 和偏最小二乘法 (PLS)
· 支持 ASTM 和 JEIDA 标准,可以测量替代碳和间隙氧
此高级自动分析系统以 Nicolet x700 光谱仪为基础,可满足要求苛刻的操作环境。 此应用软件具有完全自动化的扫描成像平台,所含软件可以实现:
· 灵活的测量选择:从单点绘制到整个晶片绘制
· 处理 300mm (最大)的晶片
· 透射与反射能力测量:可以接受的材料和薄膜非常广泛
· 简便的用户操作
此手动分析系统基于 Nicolet x700 或 Nicolet iS10 FT-IR 光谱仪,适用于要求不太苛刻的 QA/QC 应用。 此系统在样品室中使用手动旋转平台,包括:
· 单点分析手动定位样品
· 在样品室中处理晶片
· 具有透射测量能力,可以接受众多材料和薄膜
推荐应用:
· 测量硅中碳和氧的含量,以便对光伏器件进行过程控制
· 介电薄膜中掺杂物的浓度级别(BPSG、PSG、FSG 等)
· 氮化硅薄膜中的氢含量
· 外延薄膜厚度
· MEMS 器件厚度
· 硅片中的代位碳和间隙氧含量
企业名称
深圳市瑞盛科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440301104359529
成立日期
2004-09-28
注册资本
100
经营范围
分析仪器设备、科学仪器设备、实验室仪器设备的研发、销售;计算机软件开发与销售;仪器设备配件及材料的销售;电子元器件的技术开发与销售;实验室二手仪器设备销售;经济信息咨询(不含证券、保险、基金、银行、金融业务及其它限制项目),企业管理咨询(不含人才中介服务);仪器设备及备件的技术服务咨询、上门维护保养和修理;国内贸易、货物及技术进出口。(法律、行政法规或者国务院决定禁止和规定在登记前须经批准的项目除外)无
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宝安区沙井98工业区7栋2楼
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