活动面积:864 x 648㎛ / 86.4 x 64.8㎛
波长范围:420~640 nm
厚度测量范围:350Å~3㎛
最小光斑尺寸:1.48㎛, 0.148㎛
透镜旋转台:5X,50X
可测量层:1
样品台尺寸:200mmX200mm
Z轴可重复性:± 1㎛
Z轴自动调节结构:
Z direction Head Movement
Travel range : 50mm
Max. velocity : 50mm/s