您好,欢迎访问仪器信息网
注册
先锋科技(香港)股份有限公司

关注

已关注

金牌15年 金牌

已认证

粉丝量 0

400-860-5168转1980

仪器信息网认证电话,请放心拨打

当前位置: 先锋科技 > 解决方案 > 平顶光束整形器在半导体工业行业的应用

平顶光束整形器在半导体工业行业的应用

2020/04/02 17:05

阅读:117

分享:
应用领域:
电子/电气
发布时间:
2020/04/02
检测样品:
电子元器件产品
检测项目:
半导体工业行业
浏览次数:
117
下载次数:
参考标准:
平顶光束整形器

方案摘要:

衍射光学元件(DOE)在半导体工业的多种应用中广泛使用,主要工作在紫外和可见波段。高质量的UV熔石英DOE在直写刻蚀、晶圆检测中表现出优秀的性能稳定性。在这类应用中,DOE的角度精确度、热稳定性和高损伤阈值尤为重要。

产品配置单:

分析仪器

平顶光束整形器

型号: Holo/Or

产地: 美国

品牌:

¥5万 - 10万

参考报价

联系电话

方案详情:

ITR2的驱动下,半导体工业向进一步的小型化发展,对晶圆的小尺度结构的深紫外(DUV)光学检测的需求持续增加。此类系统需要采用匀化器(针对低相干激光)或光束整形器(针对单模高相干激光)将光强分布整形。同时,通常采用大角度(>70度)略入射辐照,要求高度细致地设计的整形光学系统,确保Waver表面的照明均匀性。
针对此类应用,提供专门的晶圆检测用DOE,包括订制的光束整形器以及在高略入射角度时保证均匀照明的光学系统。


下载本篇解决方案:

资料文件名:
资料大小
下载
衍射光学元件DOE在半导体工业行业的应用.pdf
227KB
相关仪器

更多

平顶光束整形器

型号:Holo/Or

¥5万 - 10万

T-10 照度计

型号:T-10

¥2万 - 5万

CS-150/CS-160 色彩亮度计

型号:CS-150/CS-160

¥2万 - 5万

CL-200A 色彩照度计

型号:CL-200A

¥2万 - 5万

相关方案

TDLAS应用波长计推荐

TDLAS (Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy) 是可调谐半导体激光吸收光谱技术的简称,诞生于上世纪90年代。当前可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)作为一种实时、高效的在线检测技术得到了广泛的应用,相比于电化学法、半导体法、催化燃烧法等检测方法,TDLAS检测响应速度快、灵敏度高,备件消耗少,具有非接触性检测且选择性强的优点。

航空航天

2023/10/30

光声成像应用的激光器选择

光声成像技术的简单原理是:当物质(比如生物组织)被脉冲宽度为若干纳秒的激光脉冲照射时,物质会吸收激光能量并将其转换为热能,会产生瞬间的热膨胀并迅速的恢复,这个瞬间膨胀并恢复的微小弛豫过程会导致频率落在超声波段的振动,这个振动是可以方便的被超声波换能器接收并实现超声波成像。简而言之,就是脉冲光诱导超声,后续实现超声成像,即光声成像(Photoacoustic Imageing) .

生物产业

2023/10/30

工业激光应用白皮书-BeamWatch动力电池激光焊接在线检测系统

动力电池是所有新能源汽车的核心部件,与新能源汽车的续航能力和安全性息息相关。动力电池的可靠程度直接决定了新能源汽车是否为广大消费者所接受。德国宝马公司在2013年推出了宝马首台电动汽车i3, 在其动力电池产线上也大规模使用了动力电池激光焊接工艺。为了保证动力电池激光焊接质量与长时间的稳定性,德国宝马公司在近年引入了Ophir公司的BeamWatch激光光束品质分析仪,得以在上料下料时间内即可快速的完成焊接激光综合参数的测量,从而保证每个动力电池的最优焊接质量,并进一步保证了动力电池在整个寿命期间内的安全性。

能源/新能源

2023/05/09

以TDLAS应用介绍美国Bristol公司771系列激光频谱分析仪

两台设备即可涵盖520nm-1700nm和1um-12um的超宽光谱段,波长分辨率0.01pm,波长测量绝对准确度0.2pm,频谱分辨率4-8GHz。 可以同时做频带很宽的和多个频带的LD或LED频谱测试,适应面超广,单次频谱测试时间2秒,自动实时校准,测试准确,操作简便

其他

2023/02/22

先锋科技(香港)股份有限公司

查看电话

沟通底价

提交后,商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价,选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式:

公司名称: 先锋科技(香港)股份有限公司

公司地址: 香港湾仔骆克道301-307号洛克中心19楼C室 联系人: 王超 邮编: 100080 联系电话: 400-860-5168转1980

仪器信息网APP

展位手机站