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天津中环电炉股份有限公司
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等离子辉光
2015/03/13 10:07
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方案摘要：
天津市中环实验电炉有限公司--二十年的专注；新材料烧结专家长期生产实验电炉有管式炉、马弗炉、石墨烯管式炉、PECVD系统 等实验室设备。PECVD系统在辉光放电条件下，由于硅烷等离子体中的电子具有几个ev 以上的能量，因此H2和SiH4受电子的碰撞会发生分解，此类利用PECVD系统反应属于初级反应。若不考虑射频分解时的中间激发态，可以得到如下一些生成SiHm（m=0,1,2,3）与原子H 的离解反应：
按照基态分子的标准生产热计算，上述各离解过程(2.1)~(2.5)所需的能量依次为2.1、4.1、4.4、5.9eV 和4.5eV。
在产学研结合发展的过程中我们欢迎有志之士的加入
天津市中环实验电炉有限公司，网址WWW.CTJZH.COM；电话400-022-1116 http://www.ctjzh.com/news/2015/0312/558.html
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