应用领域:
汽车制造及零部件
金属加工、制造
冶金
航空、航天
电子工业
玻璃、陶瓷
表面处理:化学气相沉积、物理气相沉积等
电镀
光伏电池、锂电
科学研究
产品用途:
1 热处理
精确测量所关心元素的含量-深度分布,定性、定量检测表面污染物、夹杂物和物相比例
2 涂镀层
可获得涂镀层完整的化学组分信息、层厚度,元素含量-深度分析。非导体涂镀层,如油漆、釉等可采用RF光源分析
3 硬质合金层
快速分析硬质合金层和热处理工件的渗层化学组分
4 陶瓷
采用RF光源可精确可靠的测量
5 电镀
测量电镀层的复杂结构和过渡界面信息,化学组分含量、层厚、质量分布,也可进行缺陷鉴别和分析
6 化学组分
精确测量化学元素含量
高精度、高重复性检测
快速分析:<60s
可分析从H至U的所有元素,检测范围从ppm至100%
7 太阳能电池薄膜
检测太阳能光伏电池薄膜中化学元素含量分布,如:Cu(In,Ga)Se2
技术特点及优势:
GDA750/GDA550是高灵敏度、高性能的光谱仪,可适用于表面和涂镀层的化学元素含量分析
多达79个分析通道,采用PMT检测器,GDA750/GDA550型辉光放电光谱仪是高分辨率、高灵活性和高分析精度的仪器,同时可安装独有的高分辨率CCD光学系统(选装件),允许同时分析所有元素,具备全谱功能,也可在现有的方法中添加任一元素的任一谱线。
这种灵活性在分析中,尤其对于元素含量和深度测定中至关重要。所有元素,包括轻元素(H,O,N,Cl和C)均可测定
在含量-深度测量中,分析深度可达200微米以上,层分辨率可达1纳米。GDA750/GDA550也可进行基体总量分析,尤其对于复杂基体,具备优异的线性校准曲线。检出限可达亚PPM级
GDA750/GDA550装备有最新一代的辉光激发光源,溅射直径从1mm至8mm。采用通用样品夹具,也可进行小样品和异形样品的分析,无需更换特殊电极。
GDA750也可选装配置脉冲式射频电源(选装件),用于分析非导体材料及涂镀层。
采用脉冲式射频光源后,可分析非导体、热敏感样品,如:陶瓷、玻璃、有机涂层、有机薄膜。还可选装配置特殊样品转移室(选装件),用于分析极薄的薄膜和空气中易氧化的薄膜。