0.1μm超小型粒子计数器在半导体芯片制造环境中的应用
在半导体芯片制造过程中,对生产环境的洁净度要求极高,必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路,控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量,以保证产品质量和提升产品良率,特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。
在半导体芯片生产过程中,粒子计数器主要应用于:
1、 Fab厂的制造工艺检测:在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中,使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子,确保工艺的精确性。
2、高端封装过程:在晶圆切割封装过程中,粒子计数器同样发挥着关键作用,保证封装质量。
3、 半导体设备生产工艺的质量监测:通过粒子计数器对设备工艺点进行监控,确保生产过程的稳定性和产品质量。
参考法规和标准:
粒子计数器严格遵守ISO 21501-4法规,并满足ISO 14644-1(2015)洁净室悬浮粒子测试方法的要求,适用于class 1至6级的洁净室环境。
使用方法:
参照ISO14644-1(2015)法规的内容,针对不同洁净度等级下监测粒径的上限要求,通过法规内容的计算方法测算采样点数及每个点采样时间,对仪器进行设定后,按照该方法进行逐个点位测试。
ISO等级数N | 大于或等于关注粒径的粒子最大允许浓度* 个/m3 | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
1 | 10 | |||||
2 | 100 | 24 | 10 | |||
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | ||
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
9 | 35200000 | 8320000 | 293000 |
KANOMAX公司推出的超小型尘埃粒子计数器3950-00,同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数,也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子,为净化作业环境的洁净度评定提供依据,为芯片制造保驾护航!
Kanomax尘埃粒子计数器3950-00,颠覆性的技术革新,不仅将经典品质传承,而且完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中。
既往产品尺寸难以嵌入半导体制造装备中使用,本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
致轻、致小,采样量2.83L/min,同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色触摸屏显示屏,可使用附带软件在PC上显示测试数据。设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。
品 名 | 尘埃粒子计数器 | |
型 号 | 3950-00 | |
粒子测量 | 测试方法 | 光散射法 |
粒径通道 | 2粒径(0.1、0.3μm) | |
额定流量 | 0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
测量时间 | 6秒~99分59秒(1次测量时间) | |
间隔时间 | 6秒~99分59秒(测量周期) | |
采样次数 | 1~999次 或 连续测试 | |
地点设定 | 99个地点 | |
测量方式 | 重复、单次、连续、计算 | |
测量数据显示时间 | 1~10秒 | |
测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 | |
最大可测浓度 | 10,000,000个/m³ | |
计数效率 | 50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子) 100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) | |
伪 计 数 | <1个/35min | |
粒径分辨率 | 15%以下(相对0.3μm的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) | |
气 源 | 内置泵 | |
显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 | |
通迅功能 | 本 体 | USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接) Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud) |
数据存储 | 媒 体 | 内存 |
数量、格式 | 最大10,000个、CSV格式 | |
显示语言 | 英文、日语 | |
电 源 | AC100~240V | |
使用环境 | 本 体 | 15~35℃、0~85%RH (无结露) |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
重 量 | 3.4kg |
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