加野Kanomax 0.1μm级超小型粒子计数器3950为芯片制造保驾护航！

加野

2021/08/19 13:41

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2020年9月15日，美国禁止为华为提供5G芯片，也不准用机器为华为生产5G芯片，导致华为空有一身强悍技术，却因为光刻机等原因缺芯少魂，无处施展。美国采取“断供”的方式已对中国59家企业实施“制裁”，如果这一批科技产业链巨头们倒下，中国的全产业链升级、中国制造大升级将彻底失败，绝非危言耸听。

国人当自强！光刻机、光刻胶、芯片研发等全产业链的所有生产、技术都要自主研发，12寸晶圆、光掩膜、EUV光源、透镜等都要自己制造，芯片自主化生产之路已成必然趋势。

电子芯片.jpg

由于芯片制造工艺及封装等生产流程极其复杂，对生产环境的净化要求极高，必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路，控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量至关重要、必不可少！

KANOMAX公司推出的超小型粒子计数器3950，同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数，也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子，为净化作业环境的洁净度评定提供依据，为芯片制造保驾护航！

Kanomax颠覆性的技术革新，超小型粒子计数器MODEL 3950，不仅将经典品质传承，而且完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中，致轻、致小，采样量2.83L/min，同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色触摸显示屏，可使用附带软件在PC上显示测试数据。设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。

通过超小型化的设计，使0.1μm级粒子计数器可嵌入装备使用。

应用范围：

作为传感器嵌入到设备装置中

洁净室的清洁度管理

高清洁度区域的管理

技术参数

品名		尘埃粒子计数器
型号		3950-00
粒子测量	测试方法	光散射法
	粒径通道	2粒径（0.1、0.3μm）
	额定流量	0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
	测量时间	6秒~99分59秒（1次测量时间）
	间隔时间	6秒~99分59秒（测量周期）
	采样次数	1~999次或连续测试
	地点设定	99个地点
	测量方式	重复、单次、连续、计算
	测量数据显示时间	1~10秒
	测量数据显示	累计值∑ 差分值△及柱形图
	zui大可测浓度	10,000,000个/m³
	计数效率	50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） 100±10%（相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	伪计数	<1个/35min
	粒径分辨率	15%以下（相对0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	气源	内置泵
显示器		4.3英寸彩色液晶触摸屏
通迅功能	本体	USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
数据存储	媒体	内存
数据存储	数量、格式	zui大10,000个、CSV格式
显示语言		英文、日语
电源		AC100~240V
使用环境	本体	15~35℃、0~85%RH （无结露）
外形尺寸		W150 X H163 X D228 mm
重量		3.4kg