全固态射频发生器的双向观测可选ICP光谱仪

技术指标

射频发生器(RF)：

(1)         电路类型：他激式，由两支金属氧化物场效应管（MOSFET管）组成的推挽放大电路

(2)         工作频率：27.12MHz±0.05%

(3)         频率稳定性：<0.01%

(4)         输出功率的应用范围：700—1200W

(5)         点火功率：≤700W

(6)         输出功率稳定性≤0.1%

(7)         电磁场泄漏辐射强度：距机身300mm 电场强度E:<2V/m

进样装置：

(1)         输出工作线圈：内径22mm，3匝

(2)         炬管：三同心型石英炬管，外径20mm

(3)         雾化器：同心型Meinhard式雾化器，外径6mm

(4)         雾室：特制高效型

(5)         氩气流量计规格：

等离子气流量计：100-1000L/h (1.6-16L/min)

辅助气流量计6-60L/h  （0.1-1 L/min）

载气流量计：采用质量流量计并由计算机控制，规格为0-5L/min，分辨率为0.02L/min

氩气稳压值：0.25MPa

分光器：

(1)         光路：Czerny-Turner装置

(2)         焦距：750mm

(3)         光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm；刻线面积80×110mm (可选用刻线密度2400线/mm,刻线面积：80×110mm)

(4)         分辨率：≤0.012nm

(5)         波长测量范围：

光栅3600线/mm波长测量范围：180—500nm；

光栅2400线/mm波长测量范围：180—800nm；

(6)步进电机驱动最小步距：0.0006nm

(7)出射、入射狭缝：20μm

(8)反射镜规格：（78×105×16）mm

(9) 透镜φ25mm,1:1成像

(10)分光器充氩气后，可测量180-190nm范围内的元素

测光装置：

(1)光电倍增管规格：R212UH或R928

(2)光电倍增管负高压：200-1000V，稳定性<0.05%

(3)光电倍增管电流测量范围：10^-4—10^-9A

(4)信号采集方式：V/F转换，1mv对应100Hz

整机技术指标：

(1)         测量波长范围：

180-500nm    3600L/mm光栅

180-800nm    2400 L/mm光栅

(2)分辨率：≤0.012nm

(3)测量精度（重复性）：平均相对标准偏差RSD≤1%

(4)测量稳定性：平均相对标准偏差RSD≤2%

(5)代表元素检出下限：PPb级

(6)外形尺寸及重量：1400mm(长)×530mm（宽）×560mm（高）重量：130kg