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溶剂选择充氮精密烘箱的方案
2019/12/25 18:42
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方案摘要：
产品配置单：
HASUC热风循环烘箱 干燥箱 DHG-9640A
型号： DHG--9640A
产地： 上海
品牌： 和呈
¥1.26万
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HASUC 高低温交变湿热试验箱 GDJS-150A
型号： GDJS--150A
产地： 上海
品牌： 和呈
¥3.39万
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HMDS基片预处理系统真空干燥箱HMDS-6090
型号： HMDS----6090
产地： 上海
品牌： 和呈
¥6.9万
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HASUC 半导体真空烘箱 HSFBZK1500l
型号： HSFBZK1500
产地： 上海
品牌： 和呈
¥7万 - 10万
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恒温恒湿箱 恒温恒湿机 HS-50B
型号： HS-50B
产地： 上海
品牌： 和呈
¥2.25万
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方案详情：
最初，需要进行一次吹扫循环，以排出室内空气并用惰性气体代替。
•在氮气流量为1200 SCFH（~34 m/3 h）时，吹扫时间约为23分钟。氮气的低流量将设置为约600 SCFH（~17 m/m3 h），以保持室内的氧气水平。•吹扫速度：34 m/3 h•运行速度：17 m/3 h
•客户工艺中溶剂的极限氧浓度（LOC）为（目前未知%）
•NFPA 86要求惰性气体供应系统（氮气供应）应始终包含一个能够以至少五个衬里容积（仅此机器约750 ft 3=21,24 m 3）净化所有连接的低氧气氛烘箱的储备容积
•客户应该有一个监测系统，以便让操作员知道惰性气体供应是否越来越少。
该系统将使用配备有变频驱动器的200 SCFM（~340m/m3 h）内部再循环系统从烘箱大气中抽出一股排气流。
•冷凝盘管将以65°F（~18,33°C）和18 GPM（~68,13 l/min）的温度向用户供应冷冻水（假设供应水为50%乙二醇）。
放气流离开调理线圈组件，在约80°F（~26，7°C）饱和。
•溶剂回收罐由客户提供，容量约为30加仑（约113.6升），周围环境良好
安装了一个带有铜管和铝翅片的冷却线圈，使烤箱能够从160°C冷却到49°C负载，该线圈由一个推车和不锈钢托盘（热固性树脂）组成。
•在65°F（~18,33°C）水下，供水额定值应为18 GPM（~68,13 l/min）、40至45 PSIG（2,76 bis 3,10 bar）。连接类型为1-1/2“NPT（F）。
注意：在斜坡和浸泡循环期间，冷却盘管的供水量约为2 GPM（~7,57 l/min），以防止盘管中的积水沸腾。在冷却开始时，冷凝盘管的供水将被切断，整个供水将流经烤箱内的冷却盘管
根据NFPA 86的规定，在循环结束时，室内必须恢复可呼吸的空气。压缩空气用于置换惰性气体，并使氧气水平回升。系统将进行吹扫，直到两台氧气分析仪都检测到室内有19.5%的氧气。此时，门将被解锁，并且可以安全地打开。
注：由于在工艺循环结束时腔室中仍有溶剂，氮气吹扫将持续到冷却循环结束。冷却循环结束时，将开始新鲜空气净化
将提供CDA（清洁干燥空气或压缩空气）气体输送系统。气体系统可通过控制器中的事件继电器进行编程。安装运行电磁阀，以便在烘箱空闲时关闭CDA供应流。这将被设置为在剖面的末端进行吹扫，以便在操作员打开门之前吹扫室内的氮气。
•在清洗循环期间，门锁将保持锁定状态（4-5层CDA容量）。一旦氧气水平达到19.5%，门锁就会被释放（解锁）。
客户产品中使用的两种物质，甲基丙烯酸月桂酯和DPMA乙二醇乙醚醋酸酯将被取样并送往第三方检测实验室。样品大小将由实验室确定，实验室将由客户提供。
•实验室收到样品后，将进行测试，以显示180°C下每种物质的LOC%。该数据将允许TPS根据NFPA 86将LOC A级烘箱的氧气分析仪设置为正确的氧气百分比。
1.增加了循环风机
2.增加了快速水冷盘管
3.程序，链锁控制
4.氧含量分析仪（0 O2-limit of 0.05 %氧分析仪要很灵敏）
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