2019/12/25 18:42
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产品配置单:
HASUC热风循环烘箱 干燥箱 DHG-9640A
型号: DHG--9640A
产地: 上海
品牌: 和呈
¥1.26万
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HASUC 高低温交变湿热试验箱 GDJS-150A
型号: GDJS--150A
产地: 上海
品牌: 和呈
¥3.39万
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HMDS基片预处理系统真空干燥箱HMDS-6090
型号: HMDS----6090
产地: 上海
品牌: 和呈
¥6.9万
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HASUC 半导体真空烘箱 HSFBZK1500l
型号: HSFBZK1500
产地: 上海
品牌: 和呈
¥7万 - 10万
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恒温恒湿箱 恒温恒湿机 HS-50B
型号: HS-50B
产地: 上海
品牌: 和呈
¥2.25万
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方案详情:
最初,需要进行一次吹扫循环,以排出室内空气并用惰性气体代替。
•在氮气流量为1200 SCFH(~34 m/3 h)时,吹扫时间约为23分钟。氮气的低流量将设置为约600 SCFH(~17 m/m3 h),以保持室内的氧气水平。•吹扫速度:34 m/3 h•运行速度:17 m/3 h
•客户工艺中溶剂的极限氧浓度(LOC)为(目前未知%)
•NFPA 86要求惰性气体供应系统(氮气供应)应始终包含一个能够以至少五个衬里容积(仅此机器约750 ft 3=21,24 m 3)净化所有连接的低氧气氛烘箱的储备容积
•客户应该有一个监测系统,以便让操作员知道惰性气体供应是否越来越少。
该系统将使用配备有变频驱动器的200 SCFM(~340m/m3 h)内部再循环系统从烘箱大气中抽出一股排气流。
•冷凝盘管将以65°F(~18,33°C)和18 GPM(~68,13 l/min)的温度向用户供应冷冻水(假设供应水为50%乙二醇)。
放气流离开调理线圈组件,在约80°F(~26,7°C)饱和。
•溶剂回收罐由客户提供,容量约为30加仑(约113.6升),周围环境良好
安装了一个带有铜管和铝翅片的冷却线圈,使烤箱能够从160°C冷却到49°C负载,该线圈由一个推车和不锈钢托盘(热固性树脂)组成。
•在65°F(~18,33°C)水下,供水额定值应为18 GPM(~68,13 l/min)、40至45 PSIG(2,76 bis 3,10 bar)。连接类型为1-1/2“NPT(F)。
注意:在斜坡和浸泡循环期间,冷却盘管的供水量约为2 GPM(~7,57 l/min),以防止盘管中的积水沸腾。在冷却开始时,冷凝盘管的供水将被切断,整个供水将流经烤箱内的冷却盘管
根据NFPA 86的规定,在循环结束时,室内必须恢复可呼吸的空气。压缩空气用于置换惰性气体,并使氧气水平回升。系统将进行吹扫,直到两台氧气分析仪都检测到室内有19.5%的氧气。此时,门将被解锁,并且可以安全地打开。
注:由于在工艺循环结束时腔室中仍有溶剂,氮气吹扫将持续到冷却循环结束。冷却循环结束时,将开始新鲜空气净化
将提供CDA(清洁干燥空气或压缩空气)气体输送系统。气体系统可通过控制器中的事件继电器进行编程。安装运行电磁阀,以便在烘箱空闲时关闭CDA供应流。这将被设置为在剖面的末端进行吹扫,以便在操作员打开门之前吹扫室内的氮气。
•在清洗循环期间,门锁将保持锁定状态(4-5层CDA容量)。一旦氧气水平达到19.5%,门锁就会被释放(解锁)。
客户产品中使用的两种物质,甲基丙烯酸月桂酯和DPMA乙二醇乙醚醋酸酯将被取样并送往第三方检测实验室。样品大小将由实验室确定,实验室将由客户提供。
•实验室收到样品后,将进行测试,以显示180°C下每种物质的LOC%。该数据将允许TPS根据NFPA 86将LOC A级烘箱的氧气分析仪设置为正确的氧气百分比。
1.增加了循环风机
2.增加了快速水冷盘管
3.程序,链锁控制
4.氧含量分析仪(0 O2-limit of 0.05 %氧分析仪要很灵敏)
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