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HSCOL-2D 无尘烘箱/干燥箱/洁净烘箱

上海和呈仪器

2013/10/23 15:24

阅读:324

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本公司HSCOL-2D系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
一.特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 10
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避
免烘烤时产生 PARTICLE; 
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 10,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
二.执行与满足标准
1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件
2.GB2423.2-1989试验B
三.用途
无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
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