Park System 半导体展览报道

2018年3月14日到16日，2018年中国半导体展在上海新国际博览中心举行。Park Systems作为中国半导体展（Semicon China）观众手册中唯一展示工业型原子力显微镜的原子力显微镜制造商参加了这次半导体展。

这次参加2018年上海半导体展会的是Park公司大中华区的总经理张家荣（Mark Chang），他就Park在未来中国半导体的地位以及作用做了详细介绍。他指出：“随着半导体工艺的3D化趋势，传统的检测技术已不能满足需求，原子力显微镜的3D量测技术已成为满足现代工业量测需求的新兴工具。Park致力于原子力显微镜研究30余年，可以帮助新的半导体工艺提供更合适贴切的解决方案。”在与同业产品相比较时他指出Park产品的优势在于:“原子力显微镜除了可以观察纳米级微小事物它还具有计量（metrology）的概念, 尤其在半导体工艺，我们不仅仅要看得清还要量得准，Park原子力显微镜是以准为概念来满足客户对计量（metrology）的需求，这与其他同业是不一样的。 在AFM市场里面，Park是唯一能提供给客户最准且最低噪声3D metrology解决方案的。”

  谈及参加2018年中国半导体展的心得时，Mark表示目前全世界的半导体都在为提供更好的晶片做准备，中国作为最大的消费市场，有政府提供庞大的资金支持，他认为中国半导体的市场是非常乐观的，Park也会设置更多据点、投资更多工程人员来满足服务客户快速增长的需求。2019年的半导体展Park China会扩大投资谋求更广阔的发展空间。

Park Systems是业内历史最悠久的原子力显微镜制造商，产品共分为研究型原子力显微镜和工业型原子力显微镜， 研究型占比40%的，而工业型占比42%， Park的研究型原子力显微镜被美国哈佛大学、斯坦福大学等使用。工业型原子力显微镜则在更大范围被广泛使用，如苹果制造的IT产品、精密机器的品质管理和半导体生产工厂。IBM, 苹果，Micron, 三星电子，SK等都是Park的主要用户。

 Park Systems拥有17年积累而来的原子力显微镜相关的原创技术，在国内外获得的原子力显微镜专利足有32项！Park Systems的CEO朴尚一强调：“Park公司拥有其他任何一家竞争公司都无法比拟的纳米计量技术。”朴尚一是斯坦福大学的博士出身，作为最初斯坦福大学原子力显微镜技术开发团队的一员，他从1980年到现在28年间专注只做原子力显微镜技术的研究，是经验最丰富的原子力显微镜专家。原子力显微镜可实现纳米尺度定量物性测量，不仅可探测癌细胞、干细胞、聚合物、石墨烯等，还可应用于电池、材料、化学、IT、半导体等领域。