概要CS-131是半导体制造中清洗工艺的SC-1溶液用于高精度药液浓度的监测仪,实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以常时间的监测微粒以及有机物的清除作业中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分浓度。通过使用监测输出的回收控制,可以确保SC-1溶液的浓度在允许范围内,同时,还可以避免不必要的更换药液工作。并且,冷却器一体型也进入了产品阵容内,可适用较大范围的样品温度。
特点
监测周期大约为2秒,支持300mm工艺的浓度管理
实现了以大约2秒为监测周期(※)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。(※不包含药液的置换时间、冷却时间)
小巧化设计有利于节省清洗装置的空间
由于底面面积只有原来的2/3(※)左右,这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
(※和本公司产品CS-220系列进行比较)
通过减少清洗工艺中的批次不良,提高产量
通过浓度计的信号输出,进行SC-1溶液的补给控制,从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良,从而推进产量的全面提高。
全自动监测与简易控制
用户只需引入SC-1溶液即可。监测是全自动方式,因此开始监测后不需要进行任何控制。另外,由于参照光谱测量时使用的是空气,所以不需要用水。
通过采取全面的气泡对策,可监测高温样品
在脱泡槽中分离气泡,在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在最低限度。并且,如果是冷却器一体型产品,则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。
采用DC24V,实现高安全性
电源采用DC24V低压电,提高了安全性以避免触电事故的发生。并且,由于内置漏水传感器,在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等,采取紧急措施。
SC-1浓度计
CS-131
技术规格
型号和规格
CS-131:无冷却器
CS-131C:冷却器一体型
监测对象
SC-1(氨/过氧化氢水溶液)
测量原理
吸收光谱测定法
浓度计算的原理
温度补偿型多变量解析法
监测范围
氨:0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%
过氧化氢:0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%
水:94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%
再现性
氨: ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%
过氧化氢: ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%
水 : ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%
药液条件 温度
CS-131:20〜30℃
CS-131C:20〜80℃
药液条件 流量
CS-131:20〜60mL/min
CS-131C:20〜40mL/min
药液条件 压力
0.10〜0.20MPa
监测周期
最小约2秒(不包含药液的置换时间・冷却时间)
设置温度
20〜25℃
操作面板
1)温度检测值的显示:氨、过氧化氢、水
2)报警信号的显示(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下 限、浓度上限、浓度上上限
3)报警信号值的设定(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限,浓度上限、浓度上上限
串行输入
RS-232C
1)浓度数据:氨、过氧化氢、水
2)报警信号值的设定(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
并行输入
DC12〜30V(光电耦合器绝缘)
并行温度报警(有效/无效)
并行输出
开路集电极输出为ON 时的最大电流:5mA、为OFF时的最大电压:30V
1)报警信号输出(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
2)装置异常
3)漏液
模拟输出
4〜20mA(2输出:NH3浓度、H2O2浓度的2输出)
*与量程规格技术规格无关,可以使4〜20mA输出对应于0〜10%浓度。(请在订货时指定)
电源
DC24V±10%, 2A
外形尺寸
CS-131:205(W)×329(D)×269(H)mm
CS-131C:291(W)×329(D)×269(H)mm
质量
CS-131:约11kg
CS-131C:约12kg
连接配管尺寸
导入用、排出用外径均为3mm(内径均为2mm)
配管接头
Nippon Pillar Super型
特点
监测周期大约为2秒,支持300mm工艺的浓度管理
实现了以大约2秒为监测周期(※)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。(※不包含药液的置换时间、冷却时间)
小巧化设计有利于节省清洗装置的空间
由于底面面积只有原来的2/3(※)左右,这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
(※和本公司产品CS-220系列进行比较)
通过减少清洗工艺中的批次不良,提高产量
通过浓度计的信号输出,进行SC-1溶液的补给控制,从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良,从而推进产量的全面提高。
全自动监测与简易控制
用户只需引入SC-1溶液即可。监测是全自动方式,因此开始监测后不需要进行任何控制。另外,由于参照光谱测量时使用的是空气,所以不需要用水。
通过采取全面的气泡对策,可监测高温样品
在脱泡槽中分离气泡,在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在最低限度。并且,如果是冷却器一体型产品,则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。
采用DC24V,实现高安全性
电源采用DC24V低压电,提高了安全性以避免触电事故的发生。并且,由于内置漏水传感器,在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等,采取紧急措施。
SC-1浓度计
CS-131
技术规格
型号和规格
CS-131:无冷却器
CS-131C:冷却器一体型
监测对象
SC-1(氨/过氧化氢水溶液)
测量原理
吸收光谱测定法
浓度计算的原理
温度补偿型多变量解析法
监测范围
氨:0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%
过氧化氢:0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%
水:94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%
再现性
氨: ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%
过氧化氢: ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%
水 : ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%
药液条件 温度
CS-131:20〜30℃
CS-131C:20〜80℃
药液条件 流量
CS-131:20〜60mL/min
CS-131C:20〜40mL/min
药液条件 压力
0.10〜0.20MPa
监测周期
最小约2秒(不包含药液的置换时间・冷却时间)
设置温度
20〜25℃
操作面板
1)温度检测值的显示:氨、过氧化氢、水
2)报警信号的显示(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下 限、浓度上限、浓度上上限
3)报警信号值的设定(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限,浓度上限、浓度上上限
串行输入
RS-232C
1)浓度数据:氨、过氧化氢、水
2)报警信号值的设定(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
并行输入
DC12〜30V(光电耦合器绝缘)
并行温度报警(有效/无效)
并行输出
开路集电极输出为ON 时的最大电流:5mA、为OFF时的最大电压:30V
1)报警信号输出(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
2)装置异常
3)漏液
模拟输出
4〜20mA(2输出:NH3浓度、H2O2浓度的2输出)
*与量程规格技术规格无关,可以使4〜20mA输出对应于0〜10%浓度。(请在订货时指定)
电源
DC24V±10%, 2A
外形尺寸
CS-131:205(W)×329(D)×269(H)mm
CS-131C:291(W)×329(D)×269(H)mm
质量
CS-131:约11kg
CS-131C:约12kg
连接配管尺寸
导入用、排出用外径均为3mm(内径均为2mm)
配管接头
Nippon Pillar Super型
pH计CS-131的工作原理介绍
pH计CS-131的使用方法?
CS-131多少钱一台?
pH计CS-131可以检测什么?
pH计CS-131使用的注意事项?
CS-131的说明书有吗?
pH计CS-131的操作规程有吗?
pH计CS-131报价含票含运吗?
CS-131有现货吗?
企业名称
上海首立实业有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101167605761093
成立日期
2004-03-23
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
仪器仪表,电子产品,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),机械设备,塑料制品,玻璃制品,环保设备,家用电器,照相器材,钢材,建筑装饰材料,通信设备及相关产品,办公文化用品,计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品),日用百货,服装鞋帽销售,从事货物进口及技术进口业务,从事计算机信息科技领域内技术开发、技术咨询、技术服务(除互联网信息服务),计算机软件开发,设计制作各类广告,商务信息咨询(除经纪)。[依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
上海首立实业有限公司
公司地址
上海市闵行区古美路1471号华城广场307室
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