i-Quick

滨州创元设备

2012/10/31 15:59

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i-Quick是与日本产业技术研究所合作开发的成膜装置。

i-Quick打破传统成膜装置的障碍，即使是普通学生也可轻松操作并生长高品质薄膜。

“i-Quick”的 “i”是以日本产业技术研究所提倡的以智慧求环保(intelligence)的综合理念而来。

加入“Quick”要素，代表操作简单快捷的同时，并保证稳定成膜的新一代研究开发型成膜装置。

到达真空度
样品准备室：	10^-6Pa
成膜室：	10^-8Pa
成膜室
腔体：	尺寸/材质：φ400×H500　SUS304 内面处理：抛光研磨+电解研磨 φ203ICF真空视窗（付手动挡板，内部观察用） φ70ICF真空视窗（付手动挡板，蒸发源观察用）水冷管，护套式加热器
主泵：	800L/sec 磁轴承型分子泵
辅助泵：	350L/min 机械泵
操纵装置：	Z轴行程：50mm 面内旋转：360°连续电机驱动（～20rpm）
样品架：	φ3英寸（φ2，φ4英寸选择可）
蒸发源：	3KW电子束蒸发源（4基）电子束加速电压：5KV 发射电流：0～600ｍA 电子束扫描坩埚数/容量：4个/3.8mL 连接法兰：φ253ICF ※同时蒸镀：可4源同时蒸镀（需4台电子枪控制电源，标准规格付一台）
样品准备室
腔体:	尺寸/材质：φ100×H150、SUS304 φ203ICF衬底交换室自动泄漏阀
搬送装置：	磁性传输装置
主泵：	300L/sec磁轴承分子泵
辅助泵：	150L/min机械泵
初级泵：	250L/min.油回转泵
控制/计测系统
电离真空计：	测定范围：10^-2Pa～10^-9Pa 频道数：2ch切换
真空计：	测定范围：0.1MPa～10^-2Pa 频道数：2ch
膜厚控制器：	XTC/2，付屏蔽挡板UHV 检出装置
触摸式操作： ( PC+LabVIEW )	真空排气/泄漏自动操作，泵/阀遥控操作，安全自锁功能，自动检漏功能，停电对策