反射高能电子衍射仪(RHEED) Reflection High-E

滨州创元设备

2012/10/31 15:53

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低电流发射高能电子衍射仪PICO-RHEED

30KeV 电子枪（RDA-003G）电源（RDA-004P）

反射高能电子衍射仪（RHEED）是观察晶体生长最重要的实时监测工具之一。它可以通过非常小的掠射角将能量为10～30KeV的单能电子掠射到晶体表面，通过衍射斑点获得薄膜厚度，组分以及晶体生长机制等重要信息。因此反射高能电子衍射仪已成为MBE系统中监测薄膜表面形貌的一种标准化技术。

R-DEC公司生产的反射高能电子衍射仪，以便于操作者使用的人性化设计，稳定性和耐久性以及拥有高亮度的衍射斑点等特长得到日本国内及海外各研究机构的一致好评和认可。

易于操作的设计

可远程控制调节电压，束流强度，聚焦位置以及光束偏转
带有安全闭锁装置
拥有高亮度衍射斑点
电子枪内表面经特殊处理，能实现极低放气率
镍铁高导磁合金磁屏蔽罩
可搭载差动抽气系统
经久耐用，稳定可靠
符合欧盟RoHS指令
kSA400RHEED分析系统兼容

30KeV 电子枪

型号	RDA-003G
电子束径	φ90μm
灯丝	φ0.1mm 发夹式钨灯丝
控制电极	定量偏压
集束线圈	空心型电磁线圈
偏向线圈	环形电磁线圈
轴向校正	灯丝，控制电极
绝缘电压	DC30KV
工作压强范围	<10^-4Pa～10^-9Pa
最大烘烤温度	200℃
连接法兰	ICF70（外径φ2.75英寸）
外形尺寸	φ100 x 401mm （可加长100mm）

30KeV 电子枪电源

型号	RDA-004P
加速电压	0～30KV 定电压电源（纹波值≤0.03%）
电子束电流	0～160μA
灯丝电源	0～2V定电压电源2Amax（纹波电压≤0.05%）
灯丝电流	Max. 2A
偏向线圈电源	±1A定电流电源±1V
偏向线圈电源	（纹波电压≤0.05%）
集束线圈电源	±0～1.5A定电流电源0～22V
集束线圈电源	（纹波电压≤0.05%）
输入电压	200V, 220V, 230V, 240V
外形尺寸	480mm x 199mm x 500mm（可加长100mm）
安全功能	安全闭锁装置
其他	RoHS指令认证

反射高能电子衍射仪分析系统（kSA400 - Leader in Analytical RHEED and LEED）

kSA400 RHEED分析系统是全球最专业的RHEED分析系统，适合各种RHEED系统和薄膜沉积系统，目前第四代系统结合优质的硬件和功能强大的软件除了可以实时取得分析数据之外，还可实现实时晶格间距，原位应力，实时薄膜沉积速率以及薄膜厚度的解析。为用户提供最广泛的RHEED分析信息。

"PlUG-IN SOFTWARE"
360KB "RHEED GUN CONTROL OPTION " (pdf)