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真空对应薄膜测绘傅立叶变化红外光谱（FTIR）測定装置
760MNK的
利用傅立叶变化红外光谱在真空环境中对衬底上成膜材料进行测定，可对晶圆内的成分解析以及各成分进行定量分析。
在FTIR的基本机能上，追加真空环境中对晶圆内映射成像，可以迅速除掉水蒸气和二氧化碳等背地气体的影响，进行高精度的测量。
| 傅立叶变换红外光谱（FTIR） |
| 真空排气对应 |
| 晶圆映射成像系统 | |
| 样品尺寸 | 4～8inch 晶圆以及不规则衬底片 |
| 真空度 | 10Pa以下 |
| 应用软件 |
| 自动测绘应用软件 |
|
操作坐标设定，R-θ设定，X-Y 平方设定， 其他设定的追加可能 |
| 标准设定，解析软件 |
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