南京理工大学多功能平台聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪PHI5000 VersaprobeII设备开始调试。

系统到达真空

分析室无样品，系统经过完全烘烤后冷至室温;使用升华泵

无

测量系统真空压力

<5x10^-10  torr

 
 Ag样品XPS光电子能量分辨率

Take-off为75度
 样品为银
 斑束为20um
 功率为4.5W

Ag样品抛光后表面轻微溅射一下

能量范围372 eV 到 365 eV. 
 取谱时间10 min，采用  Shirley法去除本底，使用PHI MultiPak测量半高宽 FWHM

Ag 3d 5/2 峰半高宽
 FWHM < 0.50 eV

PET 样品XPS光电子能量分辨率

Take-off为45度
 斑束为100um
 电子和离子双束中和

PET 样品不需要使用任何金属网增加导电性能

能量范围300 eV to 280 eV. 
 取谱时间5 min
 采用  Shirley法去除本底，使用MultiPak进行 Gausian/Lorentzian 曲线拟合求出FWHM

C1s的O=C-O峰半高宽  FWHM < 0.85 eV
  

最小X射线斑束
  

Take-off为45度
  

300 LPI Cu  grid
  

对铜栅网边缘扫描得到铜信号，
 使用PHI MultiPak 采用80/20法去评价斑束大小

<9.0μm 在x 方向
 <9.0μm 在y 方向

常用X射线斑束
  
  

Take-off为45度
  

300 LPI Cu  grid
  
  

对铜栅网边缘扫描得到铜信号，
 使用PHI MultiPak 采用80/20法去评价斑束大小

<10.0 μm   @  <1.25 watts
 <15.0 μm   @  <2.50  watts
 <20.0 μm   @  <4.50  watts
  

           X-ray XPS灵敏度和能量分辨率

 
 设定X射线斑束时候采用Take-off为75度
  
 设定大功率X射线时候采用Take-off为90度
 各种pass energy
 设定

Ag样品抛光后表面轻微溅射一下

能量范围372 eV 到 365 eV.
 采用  Shirley法去除本底，使用PHI  MultiPak测量半高宽确定能量分辨率和强度从而得到能量分辨率-灵敏度曲线

X-ray       Beam    Energy
  Sens.     Size     Res.       
 > 15kcps <10.0 μm  <0.60 eV
 > 30kcps <15.0 μm  <0.60  eV
 > 55kcps <20.0 μm  <0.60  eV
 > 35kcps <10.0 μm <1.00  eV
 > 70kcps <15.0 μm <1.00  eV
 > 125kcps <20.0 μm <1.00  eV
 >3Mcps High <1.30eV         Power
            Mode

离子枪
 最大电流

离子能量5 kV

样品台

测量到达样品台的离子电流
 偏压开

>5.0 μA @ 5 kV

离子枪工作时候分析室内压力

离子能量5 kV
 开启差动排气

无

用标准离子规测量溅射时分析室压力

< 5x10^-8  torr