核心参数
产地类别: 进口
WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命。 瞬态光电导衰减法(PCD)和荧光方法两种互为补充。操作和使用起来和WCT120一样方便。
wct-120pl系统能力
主要应用:
通过使用QSSPC或短暂的寿命测量和PL测量制造过程监控和优化步骤。
其它功能:
?初始材料(硅片)质量监控
?(硅片)加工过程中的重金属污染晶圆检测
?评价表面钝化和发射极的掺杂剂扩散
?使用隐含的VOC测量来查找生产过程引入的漏电因素
?迭代计算qsspl和QSSPC数据得到衬底掺杂情况
上图是wct-120pl得到的一个校准的荧光寿命曲线与一个校准的QSSPC寿命曲线产生寿命数据的载流子密度对照曲线。
更多内容请见附件文件
Sinton Instruments信号采集处理WCT-120PL的工作原理介绍
信号采集处理WCT-120PL的使用方法?
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企业名称
瞬渺科技(香港)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
2008-10-15
注册资本
266
经营范围
瞬渺科技(香港)有限公司
公司地址
上海市闵行区总部一号都会路2338弄122号楼
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