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产品特点：
? 自由搭配的光纤架构，可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中。
? 远端同步控制、高速多点同步测量等。
? 丰富多样的光学系统套件与应用软件，提供特殊环境下最理想的膜厚解决方案。
产品架构：
? 半导体晶圆面内分布测量
? 玻璃基板面内分布测量
? 即时性量测
? 输送方向的定点品质管理
? 对应真空环境之设备
? 即时性测量
? 输送方向的全面品质管理
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