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瞬渺科技（香港）有限公司

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当前位置： 瞬渺科技 > 其他 > 椭圆偏光膜厚测试仪（自动）

椭圆偏光膜厚测试仪（自动）

品牌： 半球
产地： 日本
型号： //
报价： 面议
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产品介绍

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产品特点：                                                           

? 椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数。

? 0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量。

? 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。

? 可自由变换反射测量角度，得到更详细的薄膜解析数据。

? 非线性最小平方法解析多层膜、光学常数。


产品规格：                                                            

膜厚测量范围0.1nm~
波长测量范围250~800nm（可选择350～1000nm）
感光元件光电二极管阵列512ch（电子制冷）
入射/反射角度范围45～90o
电源规格AC1500VA（全自动型)
尺寸1300（H）×900（D）×1750（W）mm
重量约350kg（全自动型）

 应用范围：                                                            

■半导体晶圆
?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜，电极材料等
?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻剂光学常数(波长色散)
■化合物半导体
?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矽
■平面显示器
?配向膜
?电浆显示器用ITO、MgO等
■新材料
?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜
■光学薄膜
?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜
■平版印刷领域
?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价

 

 应用范例：                                                            

非线性最小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认


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工商信息

企业名称

瞬渺科技（香港）有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

成立日期

2008-10-15

注册资本

266

经营范围

联系方式

瞬渺科技（香港）有限公司

公司地址

上海市闵行区总部一号都会路2338弄122号楼

客服电话

400-860-5168转1545
瞬渺科技（香港）有限公司为您提供半球椭圆偏光膜厚测试仪（自动）//，半球//产地为日本，属于其他，除了椭圆偏光膜厚测试仪（自动）的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,瞬渺科技客服电话400-860-5168转1545，售前、售后均可联系。
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公司地址： 上海市闵行区总部一号都会路2338弄122号楼 联系人： 上海办事处 邮编： 201108 联系电话： 400-860-5168转1545

主营产品：

光纤光谱仪 其它光谱仪 其它显微镜 激光产品 其它光学测量仪 光源/氙灯光源/汞灯光源 CCD相机/影像CCD

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