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卡尔蔡司Axio Imager Vario
| 来自卡尔蔡司的Axio Imager Vario，配备有全新的自动对焦硬件以及清洁室装备 |
| 在制程检验中带来更高速更精确地对焦 |
在2013年国际质量检测分析技术及测量测试仪器仪表展览会上，卡尔蔡司集团展示了其最新的自动对焦硬件及清洁室装备，以此来完善Axio Imager Vario 显微镜系统。一个可集成的自动对焦系统能保证高速准确的对焦。自动对焦硬件适用于高反射，低对比度样本的表面检查。在光束传播及反射的过程中（明场，暗场，偏光对比，以及斜射照明），对焦系统能保证物镜景深能精准到0.3的程度。感应器检测到对焦位置的微小变化后，通过直接驱动显微镜的Z轴马达，可以快速自动补偿偏差。这样，即使是大的样本如监视器，太阳电池板等，在XY方向上始终都能对到焦。自动对焦硬件和蔡司的AxioVision软件完美兼容，并且整合在一些自动捕捉图像的模块中，比如MosaiX。
Axio Imager Vario 的清理室应用已得到认证，认证标准为DIN EN ISO 14644-1。其清洁室设备满足最常用的清洁室等级ISO 5的要求。同时与最初的等级100的FED STD 209E (1992) 标准相同。扩展的配件如配备颗粒保护及保护罩的7x 转盘，有效的保证了样本（如晶片，光掩模）的持续洁净。
新闻稿联系人
黄晓柠, 卡尔·蔡司显微镜事业部
电话：+86 21 50481717-516，电子邮件：xiaoning.huang@zeiss.com
www.zeiss.com.cn
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