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核心参数
电子枪种类： 冷场发射
产地类别： 进口
二次电子图象分辨率： 0.5nm@30 kV
放大倍数： 0
加速电压： 10-30 kV
背散射电子图像分辨率： 0
仪器简介：
集 3 种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工
快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：
氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。
氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。
备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。
仪器特点：
快速亚 10 nm 结构加工
使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料，在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。集三种离子束显微技术于一体
使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。高分辨率成像
借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）成像相比，其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节。
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Orion NanoFab 拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器（NPVE）为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器，以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面（GUI）完全控制离子束：可创建一系列可编辑的形状，如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后，对这些形状进行矢量切割，并通过剂量和加工参数的调节进行完全的过程控制
企业名称
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(港澳台法人独资)
信用代码
91310000607411770K
成立日期
1999-12-22
注册资本
美元200.0000万
经营范围
许可项目:第三类医疗器械经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文许或许可证件为准)一般项目:为集团内企业品供投资经营决市,资金运作和财务管理,研究开发和技术支诗,商品采购销售及市场营销服务,供设链管理等物流运作。承接本公司集团内部的其享设务及境外公司的服务外包、员工培调与管理服务。区内以光学仪器、指告仪器、医疗器品、电子产品、及其他无学产品为主的仓理(除危险品),分批业务、检测、研发及相关产品的售后服务,国际贸品、转口贸品;区内企业间的置易及算易代理、无学仪器、精密仪器。第一类医疗器械、第二类医疗器械、电子产品、及其他光学产品为主的批发。保金代理(拍类除外);进出口及其他相关配套业务,区内商业性网单加工;区内商务咨询服务,光学仪备,销瓷仪器、医疗械、电子产品、及其他光学产品为主的经营性租赁。再生资源回收(不含围体度物,危险成物、报政汽车零需经相关部门批准的项目),(除依法须经批准的项目外,凭营限依法自主开展经营活动)
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
公司地址
上海自由贸易试验区美约路60号
客服电话
公司名称： 卡尔蔡司(上海)管理有限公司
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