UMS200-IMEXT大尺寸3D测量系统

主要特点：

1. 大尺寸，配置大平台显微镜，实现超大尺寸工件的测量。可达500MM以上。

2. 电动Z轴数显，相比于常用的进口测量显微镜如STM6，MM60等大大降低了成本。

3. 操作简便，效率高，系统运行稳定，满足高强度的产线应用。

主要特点:

■适用显微镜：LEICA OLYMPUS NIKON等进口，国产大平台显微镜。

■高精度的高度测量

通过控制电动Z轴数显，能够实现直接进行大景深器件的高度测量，量测读数精度达到0.1um；测量过程简单方便，支持鼠标、键盘、脚踏开关取点测量；物镜切换能够自动聚焦，减少同一器件多点高度测量时的频繁手动调焦，提高工作效率；集成EFI功能，高倍下实现景深扩展，可随时保存大景深的清晰图像。

■多种方式结合扩大测量范围

大尺寸的载物台扩大了元器件的移动范围，满足更多位置的测量要求；系统集成专业的图像拼接功能，扩大显微镜的观察范围。并实现跨视域的测量。测量范围可达500MM。远远大于传统测量显微镜。

■丰富的2D专用测量工具

在3D测量方式外，还集成多种传统的2D测量工具，包含点坐标、两点间距、点线间距、卡尺间距、线线间距、圆、弧角、角度、矩形、圆心距、片间距、区域、平均亮度、线心间距等专用测量工具。

■强大的数据统计功能
    自动计算已测量参数的标准统计数据：最大值、最小值、平均值、极差、方差、标准差、离散系数等；

■智能化的数据报告输出
    实现“待测工件→测量参数→专用报告或EXCEL→品管统计”数据流自动化。