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科艺仪器有限公司
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400-860-5168转1451
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产品介绍
仪器简介：
高效率微粒表面沉积系统包括最先进的气溶胶雾化发生、静电分离及沉积技术，用于产生可溯源NIST的PSL球及加工过程颗粒沉积在晶片表面的标准晶片，用于研究不同折射稀疏对晶片检测系统的影响并标定检测系统，也可用于评价晶片干法/湿法清洗系统的性能。
技术参数：
颗粒沉积粒径：
标准单DMA：0.08 – 1.0 µm
可选双DMA：0.03 – 3.0 µm
主要特点：
通过DMA技术去处双颗粒、三颗粒及其它杂质颗粒，使之不能沉积在芯片表面；
DMA测量经过温度及压力补偿、使得产生可溯源NIST的PSL球标准芯片；
符合CE Mark、SEMI S2/S8/S14等亚洲、欧洲及美国规范要求；
通过DMA沉积单一粒径颗粒于芯片表面；
4个内置超声波雾化发生器产生稳定、高浓度的气溶胶；
每个芯片表面可沉积8个沉积点；
高效率微粒表面沉积系统包括最先进的气溶胶雾化发生、静电分离及沉积技术，用于产生可溯源NIST的PSL球及加工过程颗粒沉积在晶片表面的标准晶片，用于研究不同折射稀疏对晶片检测系统的影响并标定检测系统，也可用于评价晶片干法/湿法清洗系统的性能。
技术参数：
颗粒沉积粒径：
标准单DMA：0.08 – 1.0 µm
可选双DMA：0.03 – 3.0 µm
主要特点：
通过DMA技术去处双颗粒、三颗粒及其它杂质颗粒，使之不能沉积在芯片表面；
DMA测量经过温度及压力补偿、使得产生可溯源NIST的PSL球标准芯片；
符合CE Mark、SEMI S2/S8/S14等亚洲、欧洲及美国规范要求；
通过DMA沉积单一粒径颗粒于芯片表面；
4个内置超声波雾化发生器产生稳定、高浓度的气溶胶；
每个芯片表面可沉积8个沉积点；
工商信息
企业名称
上海科铭仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310110000352627
成立日期
2005-01-11
注册资本
100
经营范围
联系我们
科艺仪器有限公司
公司地址
上海市松花江路251弄3号8楼
客服电话
400-860-5168转1451
科艺仪器有限公司为您提供MSP微粒晶片表面沉积系统2300XP，MSP2300XP产地为美国，属于气溶胶检测仪/系统，除了微粒晶片表面沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多气溶胶检测仪/系统,科艺仪器客服电话400-860-5168转1451，售前、售后均可联系。
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公司名称： 科艺仪器有限公司
公司地址： 上海市松花江路251弄3号8楼 联系人： 邮编： 200093
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