CEDRAT持有专利的APA?,放大型压电致动器,预装有机械放大的低电压压电陶瓷(MLA)。这种机械放大得益于一个不锈钢的椭圆形外壳,沿其短轴进行放大,沿其长轴使MLA发生形变。此外壳同时也能对MLA进行保护。它能提供更易于集成的机械接口。这种放大平衡张力架为MLA提供绝佳的预应力,在动力学应用中较其他传统的杠杆型致动器有更长的寿命和更好的性能。
CEDRAT的APATM致动器拥有良好的位移性能,性能超过了那些直接或双晶压电致动器 。
特点:
·偏心遮罩有增大位移量和硬度的作用
·机械阻抗匹配和机电耦合性能良好
·能在很广的频率范围内操作(包括谐振频率)
·压电致动器下的遮罩的弯曲程度考虑了放大器中合理的应力分布
参数:
位移范围:27.8um-1000um
闭环分辨率:0.28nm-10nm
响应时间:0.02ms-0.14ms
驱动电压低:150V
应用:
视光学: 光学透镜的定位,微扫描,天文学,聚焦定位,激光腔调谐,光纤的耦合和形变,FBG(光纤布拉格光栅)的形变,斩波器,干涉仪,PDP晶体切割,调制器等。
机械学: 工具定位,取放工具,金刚石车削,椭圆活塞加工,阻尼,动态控制,新一代超声波或声波振动,NDT,器件疲劳度监测等。
流体学: 比例阀,泵,测流技术,喷墨技术,注射器,液滴发生器,颗粒