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高纯氯化氢气体的纯度的检测：氦离子气相色谱法
2016/04/27 14:32
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方案摘要：
产品配置单：
GC5890N气相色谱仪
型号： GC5890N
产地： 江苏
品牌： 南京科捷
¥3万 - 5万
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方案详情：
高纯氯化氢气体是电子工业中用量较大的一种化学气体，电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理，激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理、外延基座腐蚀及硬质合金制造。化学级氯化氢目前主要用于硅材料处理、医药中间体、农药、精细化学品制造业。
过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢，但近年来，我国电子工业所需的化学气体的研制，在技术上已有不少突破。
随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展，氦离子气相色谱法现在成为一种常规的气体分析方法，它具有线性宽、灵敏度高等优点。本文使用氦离子色谱仪对氯化氢中的杂质进行检测分析，并建立一套最合适的应用分析方法，为氯化氢行业分析标准提供依据。
仪器准备
GC5890H氦离子气相色谱仪（南京科捷分析仪器有限公司）。
分析条件
色谱柱 | 柱1：Porapak Q，柱炉控温； 柱2：Hayesep Q，柱炉控温； 柱3：5A分子筛，辅助控温。 |
检测器 | 150℃ |
柱炉 | 50℃ |
进样方式 | 阀进样 |
进样量 | 0.1mL |
载气流量 | He，30mL/min |
PDHID气相色谱流程示意图：
色谱图
H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、C2H2标准谱图
化学级HCl样品谱图
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