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FBM-160氟离子浓度分析仪在半导体厂总排口的应用
2019/03/03 15:40
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方案摘要：
产品配置单：
DKK FBM-160/ FBM-100A 氟离子浓度分析仪
型号： FBM-160/ FBM-100A
产地： 美国
品牌： 哈希
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方案详情：
1. 背景介绍
上海 市某半导体 厂，专注于研发和制造业 应用 的晶圆。 晶圆 生产工 艺复杂，其中蚀刻序使用氢氟酸 溶液 进行蚀刻 、并用高纯水清洗， 在这个 工序 中产生了大量的高浓度 含氟废 水，含氟 废水 经过加药 、混凝沉淀处理后 达标 排放 。
该半导体厂 在总排口处安装了一台 FBM-160氟离子 浓度 分析仪。 根据 国标 《污水综合排 放标准 》（GB8978-1996）以及上海市环境保护局发布的地方标准《 半导体行业污染物排放标 准》（DB31），该半导体厂执行三级标准，其总排口的 半导体厂执行三级标准，其总排口的 氟限值为 20 mg/L。
2. 总结
FBM-160氟离子浓度分析仪采用国标方法监测 氟离子浓度分析仪采用国标方法监测 —— 氟离子选择电极法， 不消耗试剂可 更换电极头，减少维护费用； 安装简单 ，可在现场采用浸入池中安装，也以排口流 通式安装。可选配自清洗组件，减少 用户 的人工清洗 工作 ；具备多个量程， 0~99.9 mg/L； 0~999 mg/L 或 0~9990 mg/L，满足含氟废水进排口的不同测量范围需求 ，满足含氟废水进排口的不同测量范围需求 。
FBM-160氟离子浓度分析仪广泛 氟离子浓度分析仪广泛 应用于电子行业的含氟废水监测，在正常维护下能够 满足用户废水总排口的测量需求。
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