PVA Tepla拥有35年以上的等离子系统的设计和制造经验,是世界上最大的等离子清洗机的供应商之一。作为等离子体应用技术的世界领先者,PVA Tepla的等离子设备广泛的应用在半导体、生物医疗、纳米材料、光学电子、平板显示及通用工业领域。在世界范围内超过2000台设备的良好运行,充分证明了PVA Tepla等离子系统的优越品质。
(1)精密电子原件、光学原件等表面的超精密清洁。
(2)生物芯片、传感器、纳米材料、聚合物表面的改性和活化。
(3)医疗器械、诊断装置的改性和活化。
(4)印刷电路板(PCB)中的整孔、去胶渣。
(5)去除光刻胶、扫底膜、封装前清洗活化。
(6)太阳能电池片的边缘刻蚀。
型号:IoN 40
整机尺寸:775mm×723mm×781mm(宽×高×深)
反应室尺寸:330mm×229mm×483mm(宽×高×深)
电极板:3层或5层可抽卸平板电极或笼式电极
射频电源:13.56MHz,0 ~ 600W ,可选配100KHz低频电源
匹配网络:阻抗自动匹配
气路系统:标准配置为2路工艺气体,500SCCM,最多可扩展至8路。
操作系统:PC全自动操作或手动操作,LCD触摸屏控制。
(1)PC全自动操作,保证了工艺参数的高可控性、高精度以及工艺的高可重复性。
(2)LCD触摸屏控制,设备实际运行中的射频功率、气体流量、压力、工艺时间等参数都时时显示在触摸屏上,便于监测和控制,也可通过以太网实现远程操作和监控。
(3)安全连锁报警系统,用户自定义错误提示信息,避免设备任何的带错运行。
(4)0 ~ 600W 射频功率,自动匹配,适用于处理不同材质的样品。
(5)3层或5层可抽卸平板电极或笼式电极,可处理各种不同尺寸、形状的样品。
(6)标准配置为2路工艺气体,500SCCM,最多可扩展至8路不同的工艺气体,工艺可选择范围更广。
(7)干法处理工艺,无须任何化学试剂,安全、绿色、环保。
(8)ISO9001认证、CE认证。
用户单位
采购时间
采购数量
航天9院
2009/12/25
1
航天3院
2009/12/02
1
南京工业大学
2008/09/05
1
重庆大学
2009/10/08
1
中国科学院
2009/12/01
1
比亚迪
2009/03/01
1
中国电子科技集团
2009/12/01
1
上海技术物理研究所
2008/02/04
1
迪玛克药业
2009/01/01
1
施奈德工业上海
2008/07/02
1
通用电气 GE
2007/12/03
1
企业名称
北京哲勤科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108005733594
成立日期
2003-06-02
注册资本
500
经营范围
技术推广服务;销售机械设备、五金交电、电子产品;真空配套设备的设计、研发、技术服务;委托加工生产真空设备;计算机系统集成;货物进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京哲勤科技有限公司
公司地址
北京市经济技术开发区景园街10号大琛科技园B座
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