IoN 100 等离子清洗机

IoN 100旨在满足用户不断变化的需求，着重于表面处理需求的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效保护报警系统和数据采集软件。这使该设备可满足严格的质量控制程序。IoN 100结构紧凑、集成度高，采用射频（RF）激发等离子体。新型 IoN 100 的一个设计特点是可以快速方便的更换不同类型的腔室和电极结构。
 
 
先进的功能性：
 

• 灵活快速的更换不同结构的电极和腔室
• 安装简单快捷
• 可选配机载气体发生器
• 节能的操控功能使用户成本最低化
• 可配置的腔室可使用各种不同的电极构造，适用于小尺寸的结构复杂的三维工件或大批量的大工件处理
• 采用Windows操作系统的计算机控制
• 图形用户界面（GUI） ，操作软件符合Semi E95-1101和 FDA CFR第21章第Ⅱ部分的要求
• 菜单驱动式工艺过程
• 以太网通讯功能
• 绘图和自诊断功能
• 液晶触摸屏（LCD）操作面板和键盘

 
规格参数
 
工作腔室
 
材质                           铝
 
容积               100 升（标配）
                                       可按用户需求定制腔室大小
 
内部尺寸                375 x 375 x 711 mm （宽/高/深）（标配）
                            375 x 375 x 965 mm （宽/高/深）（选配）
 
 
工艺气体
 
质量流量控制计                   最多至6路气体
工艺压力                       大约0.16~2.66 mbar（取决于真空泵和气体流量）
抽真空时间                   大约1分钟（取决于真空泵）
 
射频电源        风冷
 
频率                      100KHz，13.56 MHz，2.45GHz
 
输出功率               0~600瓦（标配）
0~1250瓦（选配）
 
供给需求
 
电源                      380 V / 50 Hz，三相，15A
 
工艺气体        输入压力1~2 bar（14.5~29 PSI）
 
吹扫气体               输入压力1~2 bar（14.5~29 PSI）
 
压缩空气      输入压力4~6 bar（58~87 PSI）
 
 
机体
 

•  独立的机体带有所有电源和气体接口

 

•  带有旋转垫脚的可转动机身

 
 
设备尺寸
 
标准尺寸                           737 x 1980 x 1118 mm
                     100升铝质腔室
 
选配尺寸                          635 x 1120 x 1473 mm 
136升铝质腔室
 
重量                      350千克
 
可选配置
 

•  1%精度的真空规
•  循环水冷机
•  压力控制器
•  指示灯柱
•  条形码阅读器
•  光谱终点检测器
•  耐腐蚀性气体的MFC
•  液态单体操作装置
• 气相MFC
• 真空泵（旋片泵、干泵、涡旋泵和罗茨泵组）

 
安全认证标准
      

•  CE认证
•  EN 61010 
•  EN 61326