IoN 40 等离子清洗机

PVA TePla公司的IoN 40等离子清洗机是为实验室和生产领域设计的全功能的等离子表面处理设备。该设备外观简洁、高度集成化，可应用在医疗诊断、光学、电子等领域对各种材料的表面进行清洁、化学修饰或涂层沉积。PVA TePla公司的高品质、高性价比、操作简单的等离子清洗机为各种不同的应用领域提供了最先进的创新解决方案，得到了用户的广泛信赖。
 
 
先进的功能性：

• 灵活的电极设计保证了工艺的均匀性
• 采用Windows操作系统的工业计算机控制
• 触摸屏操作的图形用户界面（GUI） ，操作软件符合Semi E95-1101和 FDA CFR第21章第Ⅱ部分的要求
• 菜单驱动式工艺过程
• 绘图和自诊断功能
• 以太网通讯功能
• 节能模式
• 气体切换功能
• 安装简单快捷

规格参数
 
工作腔室
材质                                铝
 
容积                                36.5升
 
内部尺寸(高/宽/深)           229 x 330 x 483 mm
 
 
可选电极
 

• 初级等离子体

-     垂直电极
-     侧壁电极
-     可抽卸的3层或5层电极板（ 289 mm x 234 mm 托盘）
-     3层温控电极
-     低微粒电极
 

•  次级等离子体    笼式电极

 
工艺气体
 
质量流量控制计                 最多至6路气体
 
工艺压力                           大约0.16~2.66 mbar（取决于真空泵和气体流量）
 
抽真空时间                           大约1分钟（取决于真空泵）
 
放气                                      可调
 
 
射频电源                        风冷，13.56 MHz，600 瓦（标配）
 
供给需求
 
电源                                220 V / 50 Hz，单相，  2.3 KW，
 
工艺气体                         输入压力1~2 bar（14.5~29 PSI）
 
吹扫气体                         输入压力1~2 bar
（14.5~29 PSI）
 
压缩空气                       输入压力4~6 bar（58~87 PSI）
 
设备尺寸 宽/高/深         775 x 723 x 781 mm
 
重量                               157 Kg
                           
 
可选配置

•  1%精度的真空规
•  压力控制器
•  指示灯柱
•  条形码阅读器
•  工艺气体切换器
•  工艺编辑软件
•  光谱终点检测器
•  300瓦或600瓦13.56 MHz射频电源
•  不锈钢材质MFC
•  打印机
• 循环液体冷却器
• 气相MFC
• 液态单体操作装置
• 真空泵（旋片泵、干泵或涡旋泵）

 
安全认证标准
      

•  CE认证
•  EN 61010 
•  EN 61326