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艾泰克仪器科技(南京)有限公司

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Rtec-台阶仪

品牌: Rtec
产地: 美国
型号: UP-Dual
报价: $10万

核心参数

产地类别: 进口

测量原理: 电容式

测量范围: 0.1nm-10mm

精度: 0.1nm

探针尖半径: 光学

探针作用力: 光学非接触式测量

扫描长度: 150*150mm

台阶高度重复性: ≤0.1%

垂直方向分辨率: 0.1nm

测量样品最大尺寸: 150*150mm

产品介绍

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特点

集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。

技术参数


项 目 简 述参数说明
1. 共焦

l可快速垂直扫描的旋转共焦技术

l使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°) 

l具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置

l在测量表面粗糙度/表面反射率上没有限制

l应用于透明层/薄膜

l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC

l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选

l高稳定性

2.干涉仪(WLI)

lZ向高分辨率

l兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式

lZ向分辨率可独立放大 

l四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光、绿光蓝光和红光)

l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机

l快速处理器

l自动对焦

3.原子力显微镜

l探针扫描可用于大型模板

lXYZ三向可达原子级分辨率

l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um

4.变焦

l粗糙表面分析

l快速分析

l特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜





售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 现场免费
免费仪器保养: 指导
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 如有必要24小时到达现场
工商信息

企业名称

艾泰克仪器科技(南京)有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91320100MA1X5H9G0E

成立日期

2005-12-14

注册资本

500

经营范围

仪器仪表、计算机等电子产品的设计、开发、制造及销售;仪器仪表的测试服务;仪器仪表、机械产品的维修(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

联系方式
艾泰克仪器科技(南京)有限公司为您提供Rtec-台阶仪UP-Dual,RtecUP-Dual产地为美国,属于进口台阶仪,除了Rtec-台阶仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多台阶仪,艾泰克客服电话400-860-5168转1329,售前、售后均可联系。

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