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400-860-5168转1329
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公司简介
资质荣誉
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核心参数
产地类别: 进口
测量原理: 电容式
测量范围: 0.1nm-10mm
精度: 0.1nm
探针尖半径: 光学
探针作用力: 光学非接触式测量
扫描长度: 150*150mm
台阶高度重复性: ≤0.1%
垂直方向分辨率: 0.1nm
测量样品最大尺寸: 150*150mm
特点
集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。
技术参数
l可快速垂直扫描的旋转共焦技术
l使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°)
l具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置
l在测量表面粗糙度/表面反射率上没有限制
l应用于透明层/薄膜
l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC
l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选
l高稳定性
lZ向高分辨率
l兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式
lZ向分辨率可独立放大
l四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光、绿光、蓝光和红光)
l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机
l快速处理器
l自动对焦
l探针扫描可用于大型模板
lX、Y、Z三向可达原子级分辨率
l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um
l粗糙表面分析
l快速分析
l特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜
企业名称
艾泰克仪器科技(南京)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91320100MA1X5H9G0E
成立日期
2005-12-14
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、计算机等电子产品的设计、开发、制造及销售;仪器仪表的测试服务;仪器仪表、机械产品的维修(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
公司地址
南京市建邺区奥体大街69号01栋10层2区-2室
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公司名称: 艾泰克仪器科技(南京)有限公司
公司地址: 南京市建邺区奥体大街69号01栋10层2区-2室 联系人: 裘先生 邮编: 210009 联系电话: 400-860-5168转1329
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