Rtec-双模式三维形貌仪（白光干涉+共聚焦）

3D通用形貌仪概述

        最先进的Rtec Universal Profilometer已经彻底改变了光学轮廓仪。 在加利福尼亚硅谷制造。 它被几个顶级实验室，大学和行业使用。UP-24在一个头上独特地组合了4种成像模式。 单击按钮，成像模式会发生变化。 这种组合可以轻松地对任何表面进行成像 如 透明，平坦，黑暗，扁平，弯曲等。每种成像模式都具有优势，并且所有技术彼此互补。

3D光学轮廓仪组合

        ●白光干涉仪

        ●旋转盘共聚焦显微镜 

        ●暗视野显微镜

        ●明视野显微镜 

主要平台规格

        产品规格

        ●标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）

        ●标准转塔，电动转塔可选

        ●垂直范围可达100mm

        ●倾斜阶段6度

        ●XY舞台分辨率0.1um

        ●自动拼接楷模

        ●Sigma头 - 仅限白光干涉仪

        ●Lambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场

        应用

        ●粗糙度  ●体积磨损   ●台阶高度   ●薄膜厚度   ●形貌

测试图像示例

               DLC涂层球                                 粗糙涂层表面                                     圆球磨斑

                  金刚石                                         生物膜                                         微流体通道

               聚合物涂层                                        墨痕                                               硬币

                    研磨垫                                        铝的失效痕迹                                    划痕

             涂层失效痕迹                                       芯片通道                                        晶圆

        在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面光度仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。