氟聚合物作为半导体制造业可容纳和运输制造过程中使用的高纯度化学品的材料,可实现半导体制造需要的极高稳定性和纯度,近几年随着半导体行业的极速扩张,氟聚合物制品在半导体行业的需求量也呈现井喷模式。
通常使用的两种特殊类型氟聚合物:聚四氟乙烯(PTFE)和可溶性聚四氟乙烯(PFA)。
由于PFA的分子结构允许熔融加工,可通过注塑成型等传统的单一工序工艺进行制造,使得PFA制品的表面粗糙度几乎无法测量,且成品不需要进行任何后道加工,杜绝引入污染。因此PFA比PTFE更能为半导体工艺化学品提供安全保障,更适用于半导体行业。
Savillex的PFA系列商品种类丰富,质量稳定可靠,被全球各半导体制造及其支撑业企业选用,应用于半导体制程的各个环节,是高品质的保障。
美国Savillex:开发优质的氟聚合物产品——无论在哪个应用领域。
美国Savillex自1976年成立以来,46年来目标始终如一:开发优质的氟聚合物产品——无论在哪个应用领域。
产品——PFA雾化器,PFA雾室,PFA惰性套件,PFA自动进样器小瓶
适用品牌——Agilent、ESI、CETEC、PE、Nu……
特点——Savillex PFA 自吸式雾化器采用独特的两件式设计,高灵敏度,可反吹设计有效防止堵塞,延长使用寿命。PFA C-Flow同心雾化器流量从35ul/min至700ul/min,可用于半导体使用的任何惰性套件,不仅与Savillex的PFA雾室联合,还可与其它品牌的石英雾室联用。流量为50ul/min的Savillex PFA雾化器尤其适用于高硅基质样品(如VPD-ICP-MS应用)和磷酸。Savillex PFA系列进样产品可与多个设备连用。尤其是Agilent PFA雾化器及惰性套件的替代。Savillex PFA自动进样器小瓶从200ul至30ml,PE、Varian、I-AS、CETAC、ESI多品牌多型号自动进样器用PFA小瓶,均有不同型号可替代。Savillex PFA系列进样系统是用户性价比方面的planA。
应用——超高纯气液化流体输送,耐腐蚀管路集成
产品——PFA阀门,PFA接头,PFA三通,PFA&FEP直管&软管,PFA洗气瓶(撞击滤尘器),PFA滤器,PTFE滤膜,PFA螺母螺帽
特点——耐腐蚀,各种流体均适用,适用于半导体生产各环节生产工序的管路集成。材质高纯、品类繁多,尺寸规格符合国际标准,适用范围广。PFA滤器结构简单,操作便捷,集成在输送管路中,可进一步净化各类高腐蚀性气液化流体,并可在线更换滤膜,极大提高生产效率。
应用——泛半导体制造业各工序均可使用
产品——实验室PFA常用工具:Savillex PFA洗瓶,PFA微柱/层析柱,PFA烧杯,PFA夹子,PFA滴瓶,PFA大盆,PFA清洗罐,PFA密封罐,PFA注射器
特点——应用广泛,材质高纯、设计精良、耐腐蚀,提高半导体制造各个工序检测质量
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