HP2(氦气纯化器)
·纯化的气体:氦、氖、氩、氪、氙、氡;
·Z大操作压力:1000psi
·能去除的杂质:出口杂质低于10ppb(H2O, H2 ,O2 ,N2 ,NO ,CO ,CO2 ,CH4 ,NH3),此基于10ppm的总进样杂质为前提,其它去除杂质包括CF4 ,CCl4 ,SiH4和低分子碳化物等;
·CE认证。
NP2(氮气纯化器)
·纯化的气体:氮气;
·Z大操作压力:1000psi
·能去除的杂质:出口杂质低于10ppb(H2O, H2 ,O2 ,N2 ,NO ,CO ,CO2 ,NH3),此基于10ppm的总进样杂质为前提,其它去除杂质包括CF4 ,CCl4 ,SiH4和低分子碳化物等。
·CE认证。
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