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应用原子力显微镜对高深宽比样品的观察

2010/01/07 11:24

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发布时间:
2010/01/07
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方案摘要:

一直以来,高深宽比样品的观察对原子显微镜来说是非常困难的,这主要是因为绝大部分的原子力显微镜的探针是金字塔形。随着样品深度的增加,探针的直径将越来越大。 应用一种全新的扫描模式SIS(Sampling Intelligent Scan)可以解决这个问题

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