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当前位置： 上海富格贸易 > 电子束曝光机 > 纳米压印+光刻对准一体机

纳米压印+光刻对准一体机

品牌： NANONEX
产地： 美国
型号： NX-2600
报价： 面议
产品介绍
NX-2600 多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印和高分辨率光刻系统 
NX-2600整片基板带对准可多层次纳米压印加高分辨率光刻系统经过了大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。具备全部压印模式：热固化、紫外固化和压印。基于独特专利保护的Nanonex气垫软压技术（ACP），不论模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形结构，NX-2600均可对其校正补偿从而获得无与伦比的压印均匀性， ACP消除了基板与模版之间侧向偏移，有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周期，最终得到快速的工艺循环。
（)
NX-2600 –具备光刻功能及光学对准的复纳米压印机
--低于1 um的光学对准精度
--低于10nm的压印分辨率
--增强的气垫软压技术可实现整个基片纳米压印均匀性
--整片晶圆（最大8″）纳米压印用于热塑性和热固性纳米压印胶
--每一次压印小于60秒的纳米压印时间
--4″，5″，6″，8″晶圆可选

主要特点：
   所有形式的纳米压印：热塑化；紫外固化；热压与紫外压印同时进行；热固化。
   气垫软压技术(ACP)： Nanonex专利技术； 完美的整片基板纳米压印均匀性； 高通量
   低于10nm分辨率； 亚1微米对准精度； 背面对准可选项； 快速工艺循环时间（小于60秒）
   灵活性： 4″, 6″, or 8″压印面积可选； 各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
热塑压印模块
 温度范围0～250oC; 加热速度>300oC/分钟; 制冷速度>150oC/分钟; 压力范围0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
紫外固化模块
 200W窄带紫外光源; 365纳米或395纳米波长可选; 全自动化控制
对准模块
  X, Y, Z, Theta平台； 分场光学和CCD相机
模版装载功能
 4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印系统； 8”模板可升级
基板装载
 标配纳米压印系统可装载4″基板，6″和8″基板可选; 各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
 独特专利保护ACP技术可最大限度保护模板和基板，特别对于象磷化铟（InP）等极易碎模板和基板给予最大限度。
光刻
 标配5”模板，标配4”直径基板； 其他尺寸可以提供； 500瓦紫外水银灯光源

工商信息

企业名称

上海富格贸易有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310000400561361

成立日期

2008-02-03

注册资本

200000

经营范围

机电设备、电子产品、仪器仪表(包含自动化)、化工原料及产品(危险品除外)、实验室设备、检测检验设备、通信设备、陶瓷制品、水处理设备、金属材料、五金配件、家用电器、电脑及其配件、印刷打印设备的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及提供相关配套业务和相关技术咨询服务。(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式

上海富格贸易有限公司

公司地址

上海市闵行区友东路358号闵欣大厦1号楼606室

客服电话

上海富格贸易有限公司为您提供 NANONEX纳米压印+光刻对准一体机NX-2600， NANONEXNX-2600产地为美国，属于电子束曝光机，除了纳米压印+光刻对准一体机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,上海富格贸易客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 上海富格贸易有限公司

公司地址： 上海市闵行区友东路358号闵欣大厦1号楼606室 联系人： 郑基荣 邮编： 201199

主营产品：

电子束曝光机 分子互作分析仪 纤维类测试仪器 在线粘度计 扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）

友情链接：

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