高精度复合式影像测量仪

程控恒流驱动式四环四区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量

具有快速自动对焦，自动寻边，强大的编程和自动测量功能

采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力

在线SPC数据处理分析，大批量治具测量

X、Y、Z三轴步进伺服控制，定位精度高速度快，X、Y速度可达180mm/s，运行平稳

采用自主开发的嵌入式模块控制系统，将负责的控制系统集成于仪器内部，稳定性更高

采用花岗石低座，性能稳定，不易变形

激光指示器指示测量位置，快速定位

可选配自动变倍功能，无需要重复像素校正实现多倍率下高效测量

1．  主要技术指标：

2.1测量范围：X=300mm，Y=200mm，Z=200mm

2.2金属台尺寸(mm): 500×330

2.3玻璃台尺寸(mm): 350×280

2.4外型尺寸L*W*H：X=760mm，Y=600mm，Z=900mm

2.5仪器重量：140kg

2.6 X.Y坐标示值误差≤   (2.5+L/100)μm       (L为被测长度单位:mm)

2.7分辨率：0.0005mm

2.8承受重量：30kg

2.9环境要求：

l  温度范围：20±5℃，0.5℃/h

l  湿度范围：45%-65%

l  电    源：220V(AC) ，50Hz ，30W