小型等离子清洗机

迪纳等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
迪纳等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于高科技生产单位的以下场合：
• 半导体开发
• 集成电路开发
• 真空电子行业
• TEM、SEM样品及支架清洗
• 生命科学实验
　　迪纳等离子清洗/刻蚀机具有以下特点：
• 可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。
• 不会对操作人员的身体造成任何伤害。
• 其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
　　迪纳等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

2型等离子清洗/刻蚀机
* 真空舱体 φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率可调 0-100W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
* 规格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 电源220V/50Hz
* 莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h)

选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体

5型等离子清洗/刻蚀机
* 真空舱体 φ150mm × L320 mm　水平 (5 升)
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率可调 0-200W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 电源 220V/50Hz
* 莱宝Leybold Type Trivac D2.5B (2.5 m3/h)

选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体


注：1、一般的清洗5型标准配置和2级真空泵就能够满足要求。
2、其他特殊要求需事先说明 



Tetra-8-LF型等离子清洗/刻蚀机
* 真空舱体 W160mm × H160mm × D320 mm　 (8 升)
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 全自动控制
* 功率可调 0-300W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W600mm × H600mm × D600mm
* 电源 220V/50Hz
* 莱宝Leybold Type Trivac D4B (4 m3/h)

选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器