今晚报告 | 通过大束流等离子FIB-SEM获得高通量且无伪影的样品表征

泰思肯

2022/04/26 10:43

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【会议介绍】

大家熟知的Wiley Analytical Science将举办第四届WAS线上春季研讨会，为期2周，将汇集全球观众和来自生物分析化学，药物研究，材料科学，实验室自动化和相关学科领域的专家，进行精彩演讲。

TESCAN有幸受邀作技术报告。

我们都知道，使用 FIB-SEM制备横截面的标准做法是：首先使用大束流快速去除材料，然后降低 FIB 束流以获得更好的离子束束斑，最终获得质量更好的截面。

然而，降低截面抛光的最大束流会使制备过程更长。对于几十微米的小横截面，这种方法是可以接受的。但是，随着抛光横截面积的增大，分析时间会大幅增加；因此，该方法不适用于制备数百微米大小的横截面。为了克服大横截面的这一限制，引入等离子 FIB，相比传统 Ga FIB-SEM，它可实现更大的束流。

等离子 FIB-SEM 为样品表征提供了几个优势：

它的高束流离子束能够实现高的材料溅射速率，从而能够有效地制备大沟槽或横截面；
等离子 FIB 还可用于大面积抛光，更显著地体现样品特征并提供关于样品在结构、成分相关联的详细信息。这有助于更完整的揭示材料分布，获得更详尽的统计信息，由此将微观尺度与纳米尺度样品表征联系起来。

采用多项技术用于改进大束流等离子FIB实现更大尺度的材料表征。

在本次网络研讨会中，我们将介绍典型的等离子 FIB 横截面加工流程并讨论大束流抛光方法。期间，将展示 TESCAN 的 TRUE X-Sectioning和摇摆样品台，其目的是在使用高束流进行最终抛光时抑制伪影的产生，并提高横截面的表面质量。最后，我们将展示如何通过等离子 FIB-SEM，不仅能加速横截面制备，还能改进 3D FIB-SEM 三维重构分析，以此更好地了解您的材料。

【报告时间】

4月26号星期二

23:00 - 24:00 (北京时间）

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【演讲人】

Martin Sláma

FIB-SEM产品经理

Martin Sláma任职于FIB-SEM产品经理。其在双束扫描电镜领域的工作已超过6年；期间，主要专研如何通过等离子FIB和镓离子FIB进行传统及先进的TEM样品制备，还有三维重构进行材料表征。在加入TESCAN公司之前，Martin曾在布尔诺理工大学、中欧技术研究所和阿斯顿大学从事新材料开发和表征的工作。