TESCAN全新推出第四代扫描电镜 瞄准高端用户市场

　　仪器信息网讯 2017年 8月，TESCAN在美国举办的M&M2017展会上推出第四代扫描电镜产品，S8000G超高分辨聚焦离子束和扫描电子束双束电镜系统。据悉，S8000G搭载了TESCAN最新研发的多项创新技术，可以提供无与伦比的图像质量、可完成复杂的纳米操作并保证极佳的精度和操作灵活性，能够满足现今工业研发和学术研究的所有需求。

S8000G超高分辨双束扫描电镜系统

　　借BCEIA2017召开之际，仪器信息网编辑采访了TESCAN(中国)总经理冯骏，对S8000G超高分辨聚焦离子束和扫描电子束双束扫描电镜系统(以下简称：S8000G)的技术特点，面对的用户以及扫描电镜市场发展趋势等问题进行了详细了解。

TESCAN(中国)总经理 冯骏

　　据冯骏介绍，与此前TESCAN推出的前三代扫描电镜相比，S8000G非简单升级，而是有了质的飞跃，主要体现在电子枪、离子枪以及软件系统的全新设计上。S8000G的电子枪采用全新的BrightBeam™SEM镜筒，专利的70°静电-电磁物镜，使系统拥有更加出色的低电压分辨率，并且无漏磁物镜可以最大化的实现各种分析，包括磁性样品的分析等;S8000G的离子枪采用最新压电陶瓷移动控制的全自动光阑，离子束流从此前的50、60nA提升至100nA，束流更强，加工性能更好;软件系统提升了原有电子枪、离子枪控制的一体化功能，通过同一个显示屏和集成度更好的系统软件实现更优的一体化控制。

　　TESCAN以生产扫描电镜为主，产品线基本涵盖了高、中、低档。目前，传统钨灯丝电镜在中国电镜市场上获得一定的认可并取得一定的市场占有率，属于TESCAN的传统优势产品;场发射电镜、FIB(聚焦等离子束和扫描电子束双束扫描电镜)等高端产品的销量也呈增长态势，并且高端产品属于TESCAN近期大力拓展的产品线，帮助TESCAN提升企业形象，打造公司品牌。

　　对于近年来电镜技术的发展，“电镜技术发展在分辨率上的提升已经不太明显，真正的发展主要在功能扩展上。”冯骏讲到。就目前技术的发展，扫描电镜分辨率提升空间愈来愈有限，原位电镜、冷冻电镜以及联用技术逐渐成为用户关注的重点。冯骏认为，电镜联用技术是一种搭配其他分析手段，以更全面表征分析样品的技术。传统电镜属于孤立技术，用于形貌观测，研究人员为获得特殊环境或状态下的形貌，已经不满足于现有技术，因此联用技术的出现成为电镜技术发展的方向之一，如与光镜联用、在电镜基础上增加原位加热、力学性能测试等，新技术发展最有代表性的即是获得本年度诺贝尔奖的冷冻电镜技术。

　　目前，TESCAN的联用技术主要有两个。

　　其一，拉曼与扫描电镜联用，此项技术由TESCAN最先推出。该技术通过与拉曼技术联用，获得分析结果除常规扫描电镜的形貌观测和拉曼光谱分析的成分结构分析之外，还可准确表征样品微区(几百纳米到微米)的形貌和成分结构的相关关系，目前包括上海交大，中国地质大学(武汉)，国家核安保中心，石油勘探研究院等用户购买。

　　其二，FIB与TOF-SIMS(飞行时间质谱仪)联用。该技术完全不同于传统能谱仪的成分分析功能，主要特点有可准确分析轻元素(H-B)，检出样品中的痕量元素(PPM级)，以及纳米级别的成分分析的空间分辨率等独特优势。目前，在中国市场已经有包括上海交大，南京航空航天大学，核工业地质研究院等多个用户。

　　对于TESCAN面临的市场机遇，冯骏认为，近两年，扫描电镜整体市场需求趋向于应用扩展，如冷冻、原位和联用，主要是因为科研分析对象越来越复杂。就中国市场而言，政府对前沿科研支持力度巨大，从事高端研究的用户对电镜的需求越来越多。未来两年，联用电镜、冷冻电镜、球差电镜等高端电镜将迎来黄金时期。但传统以形貌观测和简单成分分析为使用目的的中低端电镜市场的发展则取决于工业的发展。