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TESCAN NanoSpace — 世界第一台超高真空FIB-SEM
NanoSpace 是 Tescan公司2015年隆重推出的又一款超高真空（UHV）多功能平台。NanoSpace的电子枪和离子枪可以按客户需求进行配置，满足一切超高真空微区表面加工和分析的需求：
* 可以配置成为超高真空UHV-SEM，UHV FIB-SEM或者UHV FIB-FIB系统
* 独特的真空控制系统，样品室真空度可达5x10-10mbar，无污染
* 25个接口，提供更多的附件选项
* 高精度6轴样品台，稳定性<2nm/分钟
* 高信噪比超高真空专用SE探测器（YAP闪烁体）
* 交换室样品直径达100mm
NanoSpace提供各种定制：
可选配的电子枪：
高分辨高束流UHV e-Clips热场电子枪，最小束斑尺寸<4nm，完全静电透镜，最高加速电压30kV
可选配的离子枪：
UHV Cobra Ga+离子枪，分辨率<2.2nm
UHV i-FIB Xe等离子枪，分辨率<25nm，束流达2uA，加工速度是Ga+离子枪的50倍
UHV Cobra ExB AuSi或AuGe离子枪，分辨率<5nm，可以选择的离子质量范围为14-613
可选配的GIS：单支气体GIS-W或XeF2
SIMS选配：理想的UHV环境，CS和O显著提高二次离子产额，提高微量元素探测效率，
同时显示二次离子图像和二次电子图像。
UHV中间室可以作为任何第三方UHV系统的接口。
应用领域：
1. UHV环境下的MBE样品的观察加工和离子注入。
2. 与需要UHV环境的同步辐射测试相结合
3. 微区的同步SEM观察和SIMS分析
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公司名称： 泰思肯（中国）有限公司
公司地址： 闵行区联航路1688号旭辉国际10号楼 联系人： 沈女士 邮编： 201112 联系电话： 400-831-3279
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